12 tommer (300 mm) forsendelseskasse med frontåbning FOSB-waferbærekasse med kapacitet på 25 stk. til waferhåndtering og -forsendelse Automatiserede operationer
Nøglefunktioner
Funktion | Beskrivelse |
Waferkapacitet | 25 pladsertil 300 mm wafere, hvilket tilbyder en højdensitetsløsning til wafertransport og -opbevaring. |
Overholdelse | Fuldt udSEMI/FIMSogAMHSkompatibel, hvilket sikrer kompatibilitet med automatiserede materialehåndteringssystemer i halvlederfabrikker. |
Automatiserede operationer | Designet tilautomatiseret håndtering, hvilket reducerer menneskelig interaktion og minimerer risikoen for kontaminering. |
Manuel håndteringsmulighed | Tilbyder fleksibiliteten ved manuel adgang i situationer, der kræver menneskelig indgriben, eller under ikke-automatiserede processer. |
Materialesammensætning | Lavet afultra-rene materialer med lav gasudledning, hvilket reducerer risikoen for partikeldannelse og kontaminering. |
Waferretentionssystem | Fremskredenwaferretentionssystemminimerer risikoen for waferbevægelse under transport og sikrer, at waferne forbliver sikkert på plads. |
Renlighedsdesign | Specielt konstrueret til at reducere risikoen for partikeldannelse og kontaminering og opretholde de høje standarder, der kræves til halvlederproduktion. |
Holdbarhed og styrke | Bygget med højstyrkematerialer, der modstår transportens påvirkninger, samtidig med at transportørens strukturelle integritet bevares. |
Tilpasning | Tilbudtilpasningsmulighedertil forskellige waferstørrelser eller transportkrav, så kunderne kan skræddersy kassen til deres behov. |
Detaljerede funktioner
Kapacitet på 25 pladser til 300 mm wafere
eFOSB-waferholderen er designet til at rumme op til 25 wafere på 300 mm, hvor hver slids er præcist placeret for at sikre sikker placering af waferen. Designet gør det muligt at stable wafere effektivt, samtidig med at kontakt mellem wafere forhindres, hvilket reducerer risikoen for ridser, kontaminering eller mekanisk skade.
Automatiseret håndtering
eFOSB-boksen er optimeret til brug med automatiserede materialehåndteringssystemer (AMHS), som hjælper med at strømline waferbevægelser og øge gennemløbshastigheden i halvlederproduktion. Ved at automatisere processen minimeres risiciene forbundet med menneskelig håndtering, såsom kontaminering eller skader, betydeligt. eFOSB-boksens design sikrer, at den kan håndteres automatisk i både vandret og lodret retning, hvilket muliggør en gnidningsløs og pålidelig transportproces.
Manuel håndteringsmulighed
Selvom automatisering prioriteres, er eFOSB-boksen også kompatibel med manuelle håndteringsmuligheder. Denne dobbelte funktionalitet er fordelagtig i situationer, hvor menneskelig indgriben er nødvendig, f.eks. når man flytter wafere til områder uden automatiserede systemer eller i situationer, der kræver ekstra præcision eller omhu.
Ultrarene materialer med lav gasudledning
Materialet i eFOSB-boksen er specielt udvalgt for dets lave afgasningsegenskaber, som forhindrer udledning af flygtige forbindelser, der potentielt kan forurene waferne. Derudover er materialerne meget modstandsdygtige over for partikler, hvilket er en kritisk faktor for at forhindre kontaminering under wafertransport, især i miljøer, hvor renlighed er altafgørende.
Forebyggelse af partikelgenerering
Kassens design indeholder funktioner, der specifikt har til formål at forhindre dannelse af partikler under håndtering. Dette sikrer, at waferne forbliver fri for kontaminering, hvilket er afgørende i halvlederfremstilling, hvor selv de mindste partikler kan forårsage betydelige defekter.
Holdbarhed og pålidelighed
eFOSB-kassen er fremstillet af holdbare materialer, der kan modstå de fysiske belastninger under transport, hvilket sikrer, at kassen bevarer sin strukturelle integritet over tid. Denne holdbarhed reducerer behovet for hyppige udskiftninger, hvilket gør den til en omkostningseffektiv løsning i det lange løb.
Tilpasningsmuligheder
Da hver produktionslinje for halvledere kan have unikke krav, tilbyder eFOSB-waferbærerboksen tilpasningsmuligheder. Uanset om det drejer sig om at justere antallet af slots, ændre boksens størrelse eller inkorporere specielle materialer, kan eFOSB-boksen skræddersys til at imødekomme specifikke kundebehov.
Applikationer
De12-tommer (300 mm) forsendelseskasse med frontåbning (eFOSB)er designet til brug i en række forskellige applikationer inden for halvlederindustrien, herunder:
Håndtering af halvlederwafere
eFOSB-boksen giver en sikker og effektiv måde at håndtere 300 mm wafere på i alle produktionsfaser, fra den indledende fremstilling til test og pakning. Den minimerer risikoen for kontaminering og skader, hvilket er afgørende i halvlederproduktion, hvor præcision og renlighed er nøglen.
Opbevaring af vafler
I halvlederproduktionsmiljøer skal wafere opbevares under strenge forhold for at bevare deres integritet. eFOSB-bæreren sikrer sikker opbevaring ved at give et sikkert, rent og stabilt miljø, hvilket reducerer risikoen for wafernedbrydning under opbevaring.
Transport
Transport af halvlederwafere mellem forskellige faciliteter eller inden for fabrikker kræver sikker emballage for at beskytte de sarte wafere. eFOSB-kassen tilbyder optimal beskyttelse under transport og sikrer, at wafere ankommer ubeskadigede, hvilket opretholder et højt produktudbytte.
Integration med AMHS
eFOSB-boksen er ideel til brug i moderne, automatiserede halvlederfabrikker, hvor effektiv materialehåndtering er afgørende. Boksens kompatibilitet med AMHS muliggør hurtig bevægelse af wafere inden for produktionslinjer, hvilket øger produktiviteten og minimerer håndteringsfejl.
Spørgsmål og svar om FOSB-nøgleord
Q1: Hvad gør eFOSB-boksen egnet til waferhåndtering i halvlederproduktion?
A1:eFOSB-boksen er specielt designet til halvlederwafere og giver et sikkert og stabilt miljø til håndtering, opbevaring og transport. Dens overholdelse af SEMI/FIMS- og AMHS-standarder sikrer, at den integreres problemfrit med automatiserede systemer. Boksens ultrarene materialer med lav afgasning og waferretentionssystem minimerer risikoen for kontaminering og sikrer waferintegritet gennem hele processen.
Q2: Hvordan forhindrer eFOSB-boksen kontaminering under wafertransport?
A2:eFOSB-kassen er lavet af materialer, der er modstandsdygtige over for udgasning, hvilket forhindrer frigivelse af flygtige forbindelser, der kan forurene waferne. Dens design reducerer også partikeldannelse, og waferretentionssystemet holder waferne på plads, hvilket minimerer risikoen for mekanisk skade og kontaminering under transport.
Q3: Kan eFOSB-boksen bruges med både manuelle og automatiserede systemer?
A3:Ja, eFOSB-boksen er alsidig og kan bruges i begge deleautomatiserede systemerog manuelle håndteringsscenarier. Den er designet til automatiseret håndtering for at reducere menneskelig indgriben, men den giver også mulighed for manuel adgang, når det er nødvendigt.
Q4: Kan eFOSB-boksen tilpasses til forskellige waferstørrelser?
A4:Ja, eFOSB-boksen tilbydertilpasningsmulighederfor at imødekomme forskellige waferstørrelser, slotkonfigurationer eller specifikke håndteringskrav, hvilket sikrer, at den opfylder de unikke behov i forskellige halvlederproduktionslinjer.
Q5: Hvordan forbedrer eFOSB-boksen effektiviteten af waferhåndteringen?
A5:eFOSB-boksen forbedrer effektiviteten ved at muliggøreautomatiserede operationerhvilket reducerer behovet for manuel indgriben og strømliner wafertransporten i halvlederfabrikken. Designet sikrer også, at wafere forbliver sikre, hvilket minimerer håndteringsfejl og forbedrer den samlede gennemløbshastighed.
Konklusion
Den 12-tommer (300 mm) frontåbningsboks (eFOSB) er en yderst pålidelig og effektiv løsning til waferhåndtering, opbevaring og transport i halvlederproduktion. Med sine avancerede funktioner, overholdelse af industristandarder og alsidighed giver den halvlederproducenter en effektiv måde at beskytte waferintegriteten og optimere produktionseffektiviteten. Uanset om det drejer sig om automatiseret eller manuel håndtering, opfylder eFOSB-boksen de strenge krav fra halvlederindustrien og sikrer kontamineringsfri og skadesfri wafertransport i alle faser af produktionsprocessen.
Detaljeret diagram



