12 tommer 300 mm enkelt wafer-substratbærerkasse af PC og PP
Introduktion af waferboks
Den 12-tommer waferboks er lavet af PC (polycarbonat). Det er et materiale med høj styrke, høj temperatur og kemikaliebestandighed med god gennemsigtighed og elektriske isoleringsegenskaber.
Produktet anvendes primært i halvlederfremstilling og integrerede kredsløbsindustrier som en beholder til waferindkapsling og -beskyttelse. Det kan effektivt isolere erosion og forurening fra det ydre miljø til waferen og sikre waferens kvalitet og stabilitet.
Fordele inkluderer
Høj styrke: PC-materialer har høj trækstyrke og sejhed, hvilket kan beskytte wafere mod eksterne stød og deformation.
Høj temperaturbestandighed: PC-materiale har god høj temperaturbestandighed og kan bruges under en række forskellige temperaturforhold for at tilpasse sig proceskravene inden for halvlederfremstilling.
Gennemsigtighed: PC-materialet har god gennemsigtighed, som tydeligt kan observere waferens tilstand og detektere arbejdseffekten.
Kemisk resistens: PC-materialer har fremragende kemisk resistens og kan beskytte wafere mod korrosion og kontaminering.
12-tommer monolitiske kasser har generelt følgende specifikationer:
Udvendige mål: Normalt cirka 300 mm x 300 mm (12 "x 12"), men kan også tilpasses efter behov.
Materiale: Almindeligt anvendte materialer er PC (polycarbonat), PP (polypropylen) osv. Materialevalget afhænger generelt af det specifikke anvendelsesmiljø og kravene.
Vægtykkelse: Vægtykkelsen af den monolitiske kasse er normalt 2-3 mm, med tilstrækkelig styrke og stivhed til at beskytte den indre wafer.
Pakkeform: Monolitiske kasser har normalt et forseglet design for at forhindre støv, fugt og andre forurenende stoffer i at trænge ind i kassen og påvirke waferens kvalitet.
Detaljeret diagram
