2 tommer 50,8 mm safirwafer C-plan M-plan R-plan A-plan Tykkelse 350 um 430 um 500 um
Specifikation af forskellige orienteringer
| Orientering | C(0001)-Akse | R(1-102)-Akse | M(10-10) -Akse | A(11-20)-akse | ||
| Fysisk ejendom | C-aksen har krystallys, og de andre akser har negativt lys. Plan C er fladt, helst skåret. | R-planet er lidt hårdere end A. | M-planet er trinvis savtakket, ikke let at skære, let at skære. | A-planets hårdhed er betydeligt højere end C-planets, hvilket manifesterer sig i slidstyrke, ridsefasthed og høj hårdhed; Side-A-planet er et zigzag-plan, som er let at skære; | ||
| Applikationer | C-orienterede safirsubstrater bruges til at dyrke III-V og II-VI aflejrede film, såsom galliumnitrid, som kan producere blå LED-produkter, laserdioder og infrarøde detektorapplikationer. | R-orienteret substratvækst af forskellige aflejrede silicium-ekstrasystemer, anvendt i mikroelektroniske integrerede kredsløb. | Det bruges hovedsageligt til at dyrke ikke-polære/semipolære GaN-epitaksiale film for at forbedre lyseffektiviteten. | A-orienteret til substratet producerer en ensartet permittivitet/medium, og en høj grad af isolering anvendes i hybrid mikroelektronikteknologi. Højtemperatur superledere kan produceres af aflange krystaller med A-base. | ||
| Bearbejdningskapacitet | Mønster safirsubstrat (PSS): I form af vækst eller ætsning designes og fremstilles nanoskala-specifikke regelmæssige mikrostrukturmønstre på safirsubstratet for at kontrollere LED'ens lysudbytteform og reducere de differentielle defekter blandt GaN, der vokser på safirsubstratet, forbedre epitaksikvaliteten, forbedre LED'ens interne kvanteeffektivitet og øge effektiviteten af lysudvinding. Derudover kan safirprisme, spejl, linse, hul, kegle og andre strukturelle dele tilpasses efter kundens krav. | |||||
| Ejendomsdeklaration | Tæthed | Hårdhed | smeltepunkt | Brydningsindeks (synligt og infrarødt) | Transmittans (DSP) | Dielektrisk konstant |
| 3,98 g/cm3 | 9 (mohs) | 2053 ℃ | 1,762~1,770 | ≥85% | 11,58@300K ved C-aksen (9,4 ved A-aksen) | |
Detaljeret diagram
