4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch produktion Dummy grade Dia150mm Siliciumcarbid substrat

Kort beskrivelse:

Vi kan tilbyde højtemperatur superledende tyndfilmsubstrater, magnetiske tyndfilm og ferroelektriske tyndfilmsubstrater, halvlederkrystaller, optiske krystaller, laserkrystalmaterialer, samtidig med at vi tilbyder orientering, krystalskæring, slibning, polering og andre forarbejdningstjenester. Vores SiC-substrater kommer fra Tankeblue Factory i Kina.


Funktioner

Specifikation for siliciumcarbid (SiC) substrat med en diameter på 6 tommer

Grad

Nul MPD

Produktion

Forskningskarakter

Dummy-karakter

Diameter

150,0 mm ± 0,25 mm

Tykkelse

4H-N

350µm ± 25µm

4H-SI

500µm ± 25µm

Waferorientering

På aksen: <0001> ± 0,5 ° for 4H-SI
Uden for aksen: 4,0° mod <1120> ± 0,5° for 4H-N

Primær lejlighed

{10-10}±5,0°

Primær flad længde

47,5 mm ± 2,5 mm

Kantudelukkelse

3 mm

TTV/Bue/Vridning

≤15um/≤40um/≤60um

Mikrorørs tæthed

≤1 cm-2

≤5 cm-2

≤15 cm-2

≤50cm-2

Modstand 4H-N 4H-SI

0,015~0,028Ω!cm

≥1E5Ω!cm

Ruhed

Poleret Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm

#Revner forårsaget af højintensivt lys

Ingen

1 tilladt, ≤2 mm

Kumulativ længde ≤10 mm, enkelt længde ≤2 mm

*Sekskantplader med højintensivt lys

Kumulativt areal ≤1%

Kumulativt areal ≤ 2%

Kumulativt areal ≤ 5%

*Polytypiske områder med højintensivt lys

Ingen

Kumulativt areal ≤ 2%

Kumulativt areal ≤ 5%

*&Ridser forårsaget af højintensivt lys

3 ridser til 1 x waferdiameterens kumulative længde

5 ridser til 1 x waferdiameterens kumulative længde

5 ridser til 1 x waferdiameterens kumulative længde

Kantchip

Ingen

3 tilladte, ≤0,5 mm hver

5 tilladte, ≤1 mm hver

Kontaminering med højintensivt lys

Ingen

Salg og kundeservice

Indkøb af materialer

Indkøbsafdelingen for materialer er ansvarlig for at indsamle alle de råvarer, der er nødvendige for at producere dit produkt. Fuld sporbarhed af alle produkter og materialer, herunder kemisk og fysisk analyse, er altid tilgængelig.

Kvalitet

Under og efter fremstillingen eller bearbejdningen af ​​dine produkter er kvalitetskontrolafdelingen involveret i at sikre, at alle materialer og tolerancer opfylder eller overgår dine specifikationer.

Service

Vi er stolte af at have salgsingeniører med over 5 års erfaring i halvlederindustrien. De er uddannede til at besvare tekniske spørgsmål samt give rettidige tilbud på dine behov.

Vi er ved din side når som helst, når du har et problem, og løser det inden for 10 timer.

Detaljeret diagram

Siliciumkarbidsubstrat (1)
Siliciumkarbidsubstrat (2)

  • Tidligere:
  • Næste:

  • Skriv din besked her og send den til os