4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch produktion Dummy grade Dia150mm Siliciumcarbid substrat
Specifikation for siliciumcarbid (SiC) substrat med en diameter på 6 tommer
Grad | Nul MPD | Produktion | Forskningskarakter | Dummy-karakter |
Diameter | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Tykkelse | 4H-N | 350µm ± 25µm | ||
4H-SI | 500µm ± 25µm | |||
Waferorientering | På aksen: <0001> ± 0,5 ° for 4H-SI | |||
Primær lejlighed | {10-10}±5,0° | |||
Primær flad længde | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Kantudelukkelse | 3 mm | |||
TTV/Bue/Vridning | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Mikrorørs tæthed | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50cm-2 |
Modstand 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Ruhed | Poleret Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Revner forårsaget af højintensivt lys | Ingen | 1 tilladt, ≤2 mm | Kumulativ længde ≤10 mm, enkelt længde ≤2 mm | |
*Sekskantplader med højintensivt lys | Kumulativt areal ≤1% | Kumulativt areal ≤ 2% | Kumulativt areal ≤ 5% | |
*Polytypiske områder med højintensivt lys | Ingen | Kumulativt areal ≤ 2% | Kumulativt areal ≤ 5% | |
*&Ridser forårsaget af højintensivt lys | 3 ridser til 1 x waferdiameterens kumulative længde | 5 ridser til 1 x waferdiameterens kumulative længde | 5 ridser til 1 x waferdiameterens kumulative længde | |
Kantchip | Ingen | 3 tilladte, ≤0,5 mm hver | 5 tilladte, ≤1 mm hver | |
Kontaminering med højintensivt lys | Ingen
|
Salg og kundeservice
Indkøb af materialer
Indkøbsafdelingen for materialer er ansvarlig for at indsamle alle de råvarer, der er nødvendige for at producere dit produkt. Fuld sporbarhed af alle produkter og materialer, herunder kemisk og fysisk analyse, er altid tilgængelig.
Kvalitet
Under og efter fremstillingen eller bearbejdningen af dine produkter er kvalitetskontrolafdelingen involveret i at sikre, at alle materialer og tolerancer opfylder eller overgår dine specifikationer.
Service
Vi er stolte af at have salgsingeniører med over 5 års erfaring i halvlederindustrien. De er uddannede til at besvare tekniske spørgsmål samt give rettidige tilbud på dine behov.
Vi er ved din side når som helst, når du har et problem, og løser det inden for 10 timer.
Detaljeret diagram

