4 tommer 6 tommer lithium niobat enkeltkrystal film LNOI wafer
Forberedelsesprocessen for LNOI-materialer er hovedsageligt opdelt i de følgende fire trin
(1) He-ioner blev injiceret i det X-skårne lithiumniobatmateriale ved en vis energi og indført i det defekte lag i en vis dybde under overfladelaget af lithiumniobat;
(2) Det ionimplanterede lithiumniobatmateriale er bundet til et siliciumsubstrat med et oxidlag for at danne en bindingsstruktur;
(3) Bindingsstrukturen blev udglødet for at få defekterne introduceret ved He-ionimplantation til at udvikle sig og aggregere til dannelse af revner. Til sidst blev lithiumniobatet adskilt langs det defekte lag for at danne de resterende lithiumniobatskiver og LNOI-wafere.
Anvendelser og fordele ved LNOI wafer
1--Lithium niobate piezoelektriske film (LNOI) har høj piezoelektrisk koefficient og dielektrisk konstant, som kan konvertere mekanisk energi til elektrisk energi eller elektrisk energi til mekanisk energi. Derfor er det meget udbredt inden for sensorer, såsom tryksensorer, accelerationssensorer, temperatursensorer og så videre. Derudover kan den piezoelektriske lithiumniobatfilm også bruges i akustiske anordninger og vibrationsanordninger, såsom piezoelektrisk keramisk transducerkompleks piezoelektrisk keramisk filter.
2-Stabiliteten af lithiumniobat piezoelektrisk film er også en af dens fordele. På grund af sin krystalstrukturstabilitet og kemiske inertitet kan lithiumniobat piezoelektrisk film arbejde i høj temperatur, høj luftfugtighed, stærk syre, stærk alkali og andre barske omgivelser med god korrosionsbestandighed og holdbarhed.
3-Lithium niobate piezoelektrisk film er et nyt piezoelektrisk materiale med fremragende ydeevne og stabilitet og har et bredt anvendelsesperspektiv. Med den kontinuerlige udvikling af videnskab og teknologi vil lithiumniobat piezoelektrisk film blive anvendt i flere byer, hvilket bringer mere bekvemmelighed og innovation til folks liv
Detaljeret diagram
