4 tommer 6 tommer lithium niobat enkeltkrystalfilm LNOI-wafer
Forberedelsesprocessen for LNOI-materialer er hovedsageligt opdelt i følgende fire trin
(1) He-ioner blev injiceret i det X-skårne lithiumniobatmateriale ved en bestemt energi og introduceret i det defekte lag i en bestemt dybde under overfladelaget af lithiumniobat;
(2) Det ionimplanterede lithiumniobatmateriale er bundet til et siliciumsubstrat med et oxidlag for at danne en bindingsstruktur;
(3) Bindingsstrukturen blev udglødet for at få defekterne introduceret af He-ionimplantationen til at udvikle sig og aggregere for at danne revner. Endelig blev lithiumniobatet separeret langs det defekte lag for at danne de resterende lithiumniobatskiver og LNOI-wafere.
Anvendelser og fordele ved LNOI-wafer
1--Lithium niobat piezoelektriske film (LNOI) har en høj piezoelektrisk koefficient og dielektricitetskonstant, som kan omdanne mekanisk energi til elektrisk energi eller elektrisk energi til mekanisk energi. Derfor er den meget anvendt inden for sensorer, såsom tryksensorer, accelerationssensorer, temperatursensorer og så videre. Derudover kan lithium niobat piezoelektriske film også bruges i akustiske enheder og vibrationsenheder, såsom piezoelektriske keramiske transducerkomplekser og piezoelektriske keramiske filtre.
2. Stabiliteten af lithiumniobat piezoelektrisk film er også en af dens fordele. På grund af dens krystalstrukturstabilitet og kemiske inertitet kan lithiumniobat piezoelektrisk film fungere i høj temperatur, høj luftfugtighed, stærke syrer, stærke baser og andre barske miljøer med god korrosionsbestandighed og holdbarhed.
3-litiumniobat piezoelektrisk film er et nyt piezoelektrisk materiale med fremragende ydeevne og stabilitet, og det har et bredt anvendelsesperspektiv. Med den kontinuerlige udvikling af videnskab og teknologi vil lithiumniobat piezoelektrisk film blive anvendt i flere byer, hvilket bringer mere bekvemmelighed og innovation i folks liv.
Detaljeret diagram
