50,8 mm 2 tommer GaN på safir Epi-lags wafer
Påføring af galliumnitrid GaN epitaksial plade
Baseret på ydeevnen af galliumnitrid er galliumnitrid-epitaksiale chips hovedsageligt velegnede til højeffekt-, højfrekvens- og lavspændingsapplikationer.
Det afspejles i:
1) Højt båndgab: Højt båndgab forbedrer spændingsniveauet for galliumnitrid-enheder og kan udsende højere effekt end galliumarsenid-enheder, som er særligt velegnet til 5G-kommunikationsbasestationer, militærradar og andre felter;
2) Høj konverteringseffektivitet: tænd-modstanden for elektroniske strømforsyningsanordninger med galliumnitrid er 3 størrelsesordener lavere end for siliciumenheder, hvilket kan reducere tabet ved tænding betydeligt;
3) Høj varmeledningsevne: Den høje termiske ledningsevne af galliumnitrid gør det til en fremragende varmeafledningsevne, velegnet til produktion af højeffekt, høj temperatur og andre områder af enheder;
4) Nedbrydning elektrisk feltstyrke: Selvom den elektriske nedbrydningsfeltstyrke for galliumnitrid er tæt på siliciumnitrid, på grund af halvlederproces, materialegittermismatch og andre faktorer, er spændingstolerancen for galliumnitridenheder normalt omkring 1000V, og sikker brug spænding er normalt under 650V.
Punkt | GaN-TCU-C50 | GaN-TCN-C50 | GaN-TCP-C50 |
Dimensioner | e 50,8 mm ± 0,1 mm | ||
Tykkelse | 4,5±0,5 um | 4,5±0,5um | |
Orientering | C-plan (0001) ±0,5° | ||
Ledningstype | N-type (udopet) | N-type (Si-dopet) | P-type (Mg-doteret) |
Resistivitet (3O0K) | < 0,5 Q·cm | < 0,05 Q·cm | ~ 10 Q・cm |
Carrier koncentration | < 5x1017cm-3 | > 1x1018cm-3 | > 6x1016 cm-3 |
Mobilitet | ~300 cm2/Vs | ~200 cm2/Vs | ~10 cm2/Vs |
Dislokationstæthed | Mindre end 5x108cm-2(beregnet af FWHMs af XRD) | ||
Underlagets struktur | GaN på Sapphire (Standard: SSP Mulighed: DSP) | ||
Brugbart overfladeareal | > 90 % | ||
Pakke | Pakket i et klasse 100 renrumsmiljø, i kassetter med 25 stk. eller enkelte waferbeholdere, under en nitrogenatmosfære. |
* Anden tykkelse kan tilpasses