150 mm 6 tommer 0,7 mm 0,5 mm safirwafersubstratbærer C-plan SSP/DSP
Applikationer
Anvendelser for 6-tommer safirwafere inkluderer:
1. LED-fremstilling: Safirwafer kan bruges som substrat til LED-chips, og dens hårdhed og varmeledningsevne kan forbedre LED-chips' stabilitet og levetid.
2. Laserfremstilling: Safirwafer kan også bruges som substrat for lasere for at forbedre laserens ydeevne og forlænge levetiden.
3. Halvlederfremstilling: Safirwafere anvendes i vid udstrækning i fremstillingen af elektroniske og optoelektroniske enheder, herunder optisk syntese, solceller, højfrekvente elektroniske enheder osv.
4. Andre anvendelser: Safirwafer kan også bruges til at fremstille berøringsskærme, optiske enheder, tyndfilmssolceller og andre højteknologiske produkter.
Specifikation
Materiale | Højrenheds enkeltkrystal Al2O3, safirwafer. |
Dimension | 150 mm +/- 0,05 mm, 6 tommer |
Tykkelse | 1300 +/- 25 um |
Orientering | C-plan (0001) ud for M-plan (1-100) 0,2 +/- 0,05 grader |
Primær flad orientering | Et plan +/- 1 grad |
Primær flad længde | 47,5 mm +/- 1 mm |
Total tykkelsesvariation (TTV) | <20 um |
Sløjfe | <25 um |
Forvridning | <25 um |
Termisk ekspansionskoefficient | 6,66 x 10-6 / °C parallelt med C-aksen, 5 x 10-6 / °C vinkelret på C-aksen |
Dielektrisk styrke | 4,8 x 105 V/cm |
Dielektrisk konstant | 11,5 (1 MHz) langs C-aksen, 9,3 (1 MHz) vinkelret på C-aksen |
Dielektrisk tabstangent (også kendt som dissipationsfaktor) | mindre end 1 x 10-4 |
Termisk ledningsevne | 40 W/(mK) ved 20℃ |
Polering | Enkeltsidet polering (SSP) eller dobbeltsidet polering (DSP) Ra < 0,5 nm (ved AFM). Bagsiden af SSP-waferen blev finslebet til Ra = 0,8 - 1,2 um. |
Transmittans | 88% +/-1% @460 nm |
Detaljeret diagram


Skriv din besked her og send den til os