Alumina Keramisk Endeffektor / Gaffelarm til Wafer- og Substrathåndtering

Kort beskrivelse:

Alumina Ceramic End Effector, almindeligvis omtalt som en keramisk gaffelarm eller keramisk griber, er et kritisk værktøj, der anvendes i robotautomation og produktionslinjer i renrum. Denne komponent er installeret på robotarmen som den endelige grænseflade med produktet og er ansvarlig for at plukke, holde, justere og overføre meget følsomme dele såsom siliciumwafere, glaspaneler eller mikroelektroniske komponenter.

Send e-mail til os

Funktioner

Detaljeret diagram

keramisk arm til waferdrev af halvledere-02 - 副本

Oversigt over aluminiumoxidkeramisk endeeffektor

Alumina Ceramic End Effector, almindeligvis omtalt som en keramisk gaffelarm eller keramisk griber, er et kritisk værktøj, der anvendes i robotautomation og produktionslinjer i renrum. Alumina Ceramic End Effector er installeret på robotarmen som den endelige grænseflade med produktet og er ansvarlig for at plukke, holde, justere og overføre meget følsomme dele såsom siliciumskiver, glaspaneler eller mikroelektroniske komponenter.

Denne gaffelarm er fremstillet af ultra-ren aluminiumoxidkeramik (Al2O3) og giver en usædvanlig ren og stabil løsning til miljøer, hvor metalforurening, plastisk deformation eller partikeldannelse ikke kan tolereres.

Materialeegenskaber – Hvorfor aluminiumoxid

Om aluminiumoxid keramisk endeeffektor, aluminiumoxid (Al2O3) er en af de mest etablerede og pålideligeavanceret ingeniørkeramikDen kvalitet, vi bruger (≥99,5% renhed), tilbyder en unik kombination af fysiske og kemiske egenskaber, der gør den til det foretrukne materiale til halvleder- og vakuumapplikationer:

Ekstrem hårdhed– Med en Mohs-hårdhedsgrad på 9 tilbyder den langvarig holdbarhed og ridsefasthed.
Termisk udholdenhed– Bevarer strukturel integritet ud over 1600°C og overgår dermed metal- og polymermodstykker.
Elektrisk isolering– Eliminerer statisk elektricitet og giver fuld dielektrisk beskyttelse.
Kemisk immunitet– Upåvirket af syrer, baser, plasmagasser og aggressive rengøringsopløsninger.
Ultralav risiko for kontaminering– Ikke-afgassende overflade med lav friktion, der minimerer partikelfrigivelse i renrum.

Disse egenskaber gør det muligt for aluminiumoxidkeramiske endeeffektorer at fungere fejlfrit i barske miljøer med høj præcision.

Kerneapplikationer af aluminiumoxidkeramisk endeeffektor

Alsidigheden af aluminiumoxidkeramiske effektorgaffelarme gør dem uundværlige i flere højteknologiske industrier:

Halvlederwafertransportsystemer– Sikker flytning af siliciumskiver fra proces til proces uden mikroskopiske ridser.
Produktion af fladskærme– Håndtering af skrøbelige glassubstrater til OLED-, LCD- eller microLED-fremstilling.
Produktion af fotovoltaisk (PV)– Understøttelse af indlæsning og aflæsning af solwafere under højhastigheds-robotcyklusser.
Samling af optiske og elektroniske komponenter– Griber fat i sarte dele som sensorer, modstande og miniaturechips.
Støvsuger- og renrumsautomation– Udførelse af præcisionsopgaver under ultrarene, partikelkontrollerede forhold.

I alle scenarier fungerer den keramiske aluminiumoxid-endeeffektor som det afgørende led mellem robotautomation og det produkt, der flyttes.

Design- og tilpasningsmuligheder for aluminiumoxidkeramisk endeeffektor

Hver produktionslinje har unikke krav. Derfor tilbyder vi skræddersyede aluminiumoxid-keramiske endeeffektorløsninger til forskellige waferstørrelser, robotsystemer og håndteringsmetoder:

Waferkompatibilitet: Håndterer wafere fra 2" til 12" og kan skaleres til brugerdefinerede dele.

Geometrimuligheder: Enkelt gaffel, dobbelt gaffel, multi-slot eller brugerdefinerede former med integrerede fordybninger.

Vakuumhåndtering: Valgfrie vakuumsugekanaler til kontaktløs waferstøtte.

Monteringsgrænseflader: Brugerdefinerede bolthuller, flanger eller slidsede designs, der passer til enhver robotarm.

Overfladebehandlinger: Polerede eller superfinished overflader (ned til Ra < 0,15 μm).

Kantprofiler: Affasede eller afrundede kanter for maksimal waferbeskyttelse.

Vores ingeniørteam for aluminiumoxidkeramiske endeffektorer kan arbejde ud fra kundens CAD-tegninger eller prøvedele, hvilket sikrer problemfri integration i eksisterende automationssystemer.

Vigtigste fordele ved aluminiumoxidkeramiske endeeffektorer

Funktion	Hvorfor det er vigtigt
Dimensionspræcision	Holder perfekt justering selv i gentagne cyklusser med høj hastighed.
Ikke-forurenende	Producerer stort set ingen partikler og opfylder dermed strenge krav til renrum.
Varme- og korrosionsbestandig	Tåler aggressive forarbejdningstrin og termiske chok.
Ingen statisk ladning	Beskytter følsomme wafere og komponenter mod elektrostatisk risiko.
Let, men stiv	Tilbyder høj stivhed uden at gå på kompromis med robotarmens belastning.
Forlænget levetid	Overgår metal- og polymerarme i levetid og pålidelighed.

Materialesammenligning af aluminiumoxidkeramisk endeeffektor

Attribut	Plastgaffelarm	Gaffelarm i aluminium/metal	Gaffelarm af aluminiumoxidkeramisk materiale
Hårdhed	Lav	Medium	Meget høj
Termisk rækkevidde	≤ 150°C	≤ 500°C	Op til 1600°C
Kemisk stabilitet	Dårlig	Moderat	Fremragende
Renrumsvurdering	Lav	Gennemsnit	Ideel til klasse 100 eller bedre
Slidstyrke	Begrænset	God	Udestående
Tilpasningsniveau	Moderat	Begrænset	Stor

Ofte stillede spørgsmål (FAQ) om aluminiumoxid keramisk endeeffektor

Q1: Hvad adskiller en endeeffektor af aluminiumoxidkeramik fra en af metal?
A1:I modsætning til aluminium- eller stålarme korroderer, deformerer eller introducerer aluminiumoxidkeramik ikke metalioner i halvlederprocesser. Det forbliver dimensionsstabilt under ekstreme forhold og frigiver stort set ingen partikler.

Q2: Kan disse keramiske endeeffektorer af aluminiumoxid bruges i højvakuum- og plasmakamre?
A2:Ja. Alumina keramik erikke-udgassendeog plasmaresistent, hvilket gør det til et foretrukket materiale til vakuumbehandlings- og ætsningsudstyr.

Q3: Hvor brugerdefinerbare kan disse gaffelarme fra aluminiumoxidkeramik?
A3:Hver enhed kan værefuldt tilpasset—inklusive form, slidser, sugehuller, monteringsstil og kantfinish — for at matche dit robotsystems krav.

Q4: Er de skrøbelige?
A4:Selvom keramik har naturlig sprødhed, fordeler vores designteknik belastningen jævnt og minimerer belastningspunkter. Ved korrekt håndtering overstiger levetiden ofte levetiden for metal- eller polymeralternativer.

Om os

XKH specialiserer sig i højteknologisk udvikling, produktion og salg af specielt optisk glas og nye krystalmaterialer. Vores produkter anvendes til optisk elektronik, forbrugerelektronik og militæret. Vi tilbyder optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedæksler, keramik, LT, siliciumcarbid SIC, kvarts og halvlederkrystalwafere. Med dygtig ekspertise og avanceret udstyr udmærker vi os inden for ikke-standard produktforarbejdning og sigter mod at være en førende højteknologisk virksomhed inden for optoelektroniske materialer.