Tilpassede GaN-on-SiC epitaksiale wafere (100 mm, 150 mm) – Flere SiC-substratmuligheder (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Funktioner
●Epitaksial lagtykkelse: Kan tilpasses fra1,0 µmtil3,5 µm, optimeret til høj effekt og frekvensydelse.
●SiC Substrat Options: Fås med forskellige SiC-substrater, herunder:
- 4H-N: Nitrogen-doteret 4H-SiC af høj kvalitet til højfrekvente applikationer med høj effekt.
- HPSI: Semi-isolerende SiC med høj renhed til applikationer, der kræver elektrisk isolering.
- 4H/6H-P: Blandet 4H og 6H-SiC for en balance mellem høj effektivitet og pålidelighed.
●Waferstørrelser: Tilgængelig i100 mmog150 mmdiametre for alsidighed i enhedsskalering og integration.
●Høj nedbrydningsspænding: GaN på SiC-teknologi giver høj gennembrudsspænding, hvilket muliggør robust ydeevne i højeffektapplikationer.
●Høj termisk ledningsevne: SiC's iboende termiske ledningsevne (ca 490 W/m·K) sikrer fremragende varmeafledning til strømkrævende applikationer.
Tekniske specifikationer
Parameter | Værdi |
Wafer Diameter | 100 mm, 150 mm |
Epitaksial lagtykkelse | 1,0 µm – 3,5 µm (tilpasses) |
SiC substrattyper | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
SiC termisk ledningsevne | 490 W/m·K |
SiC-resistivitet | 4H-N: 10^6 Ω·cm,HPSI: Halvisolerende,4H/6H-P: Blandet 4H/6H |
GaN lagtykkelse | 1,0 µm – 2,0 µm |
GaN Carrier Concentration | 10^18 cm^-3 til 10^19 cm^-3 (kan tilpasses) |
Wafer overfladekvalitet | RMS ruhed: < 1 nm |
Dislokationstæthed | < 1 x 10^6 cm^-2 |
Wafer Bue | < 50 µm |
Wafer Fladhed | < 5 µm |
Maksimal driftstemperatur | 400°C (typisk for GaN-on-SiC-enheder) |
Ansøgninger
● Strømelektronik:GaN-on-SiC-wafere giver høj effektivitet og varmeafledning, hvilket gør dem ideelle til effektforstærkere, strømkonverteringsenheder og power-inverter-kredsløb, der bruges i elektriske køretøjer, vedvarende energisystemer og industrimaskiner.
●RF effektforstærkere:Kombinationen af GaN og SiC er perfekt til højfrekvente RF-applikationer med høj effekt, såsom telekommunikation, satellitkommunikation og radarsystemer.
● Luftfart og forsvar:Disse wafere er velegnede til rumfarts- og forsvarsteknologier, der kræver højtydende kraftelektronik og kommunikationssystemer, der kan fungere under barske forhold.
●Automotive applikationer:Ideel til højtydende strømsystemer i elektriske køretøjer (EV'er), hybridbiler (HEV'er) og ladestationer, hvilket muliggør effektiv strømkonvertering og kontrol.
●Militær- og radarsystemer:GaN-on-SiC wafere bruges i radarsystemer på grund af deres høje effektivitet, effekthåndteringsevner og termiske ydeevne i krævende miljøer.
● Mikrobølge- og millimeterbølgeapplikationer:Til næste generations kommunikationssystemer, inklusive 5G, giver GaN-on-SiC optimal ydeevne i højeffektmikrobølge- og millimeterbølgeområder.
Spørgsmål og svar
Q1: Hvad er fordelene ved at bruge SiC som et substrat for GaN?
A1:Siliciumcarbid (SiC) tilbyder overlegen termisk ledningsevne, høj gennembrudsspænding og mekanisk styrke sammenlignet med traditionelle substrater som silicium. Dette gør GaN-on-SiC wafere ideelle til applikationer med høj effekt, høj frekvens og høj temperatur. SiC-substratet hjælper med at sprede den varme, der genereres af GaN-enheder, hvilket forbedrer pålideligheden og ydeevnen.
Q2: Kan den epitaksiale lagtykkelse tilpasses til specifikke applikationer?
A2:Ja, den epitaksiale lagtykkelse kan tilpasses inden for en række af1,0 µm til 3,5 µm, afhængigt af strøm- og frekvenskravene til din applikation. Vi kan skræddersy GaN-lagtykkelsen for at optimere ydeevnen til specifikke enheder som effektforstærkere, RF-systemer eller højfrekvente kredsløb.
Q3: Hvad er forskellen mellem 4H-N, HPSI og 4H/6H-P SiC-substrater?
A3:
- 4H-N: Nitrogen-doteret 4H-SiC bruges almindeligvis til højfrekvente applikationer, der kræver høj elektronisk ydeevne.
- HPSI: Semi-isolerende SiC med høj renhed giver elektrisk isolering, ideel til applikationer, der kræver minimal elektrisk ledningsevne.
- 4H/6H-P: En blanding af 4H og 6H-SiC, der balancerer ydeevne og tilbyder en kombination af høj effektivitet og robusthed, velegnet til forskellige kraftelektronikapplikationer.
Spørgsmål 4: Er disse GaN-on-SiC-wafere egnede til højeffektapplikationer som elektriske køretøjer og vedvarende energi?
A4:Ja, GaN-on-SiC-wafere er velegnede til højeffektapplikationer såsom elektriske køretøjer, vedvarende energi og industrielle systemer. GaN-on-SiC-enheders høje gennembrudsspænding, høje termiske ledningsevne og effekthåndteringsevner gør dem i stand til at yde effektivt i krævende strømkonvertering og kontrolkredsløb.
Q5: Hvad er den typiske dislokationstæthed for disse wafere?
A5:Dislokationstætheden af disse GaN-on-SiC wafere er typisk< 1 x 10^6 cm^-2, som sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet, minimerer defekter og forbedrer enhedens ydeevne og pålidelighed.
Q6: Kan jeg anmode om en specifik waferstørrelse eller SiC-substrattype?
A6:Ja, vi tilbyder tilpassede waferstørrelser (100 mm og 150 mm) og SiC-substrattyper (4H-N, HPSI, 4H/6H-P) for at imødekomme de specifikke behov for din applikation. Kontakt os venligst for yderligere tilpasningsmuligheder og for at drøfte dine krav.
Spørgsmål 7: Hvordan fungerer GaN-on-SiC-wafere i ekstreme miljøer?
A7:GaN-on-SiC wafere er ideelle til ekstreme miljøer på grund af deres høje termiske stabilitet, høje effekthåndtering og fremragende varmeafledningsevner. Disse wafere fungerer godt under høje temperaturer, højeffekts- og højfrekvente forhold, der almindeligvis forekommer i rumfart, forsvar og industrielle applikationer.
Konklusion
Vores tilpassede GaN-on-SiC epitaksiale wafere kombinerer de avancerede egenskaber af GaN og SiC for at give overlegen ydeevne i høj-effekt og højfrekvente applikationer. Med flere SiC-substratmuligheder og tilpassede epitaksiale lag er disse wafere ideelle til industrier, der kræver høj effektivitet, termisk styring og pålidelighed. Uanset om det er til kraftelektronik, RF-systemer eller forsvarsapplikationer, tilbyder vores GaN-on-SiC-wafere den ydeevne og fleksibilitet, du har brug for.
Detaljeret diagram



