Tilpassede GaN-på-SiC epitaksiale wafere (100 mm, 150 mm) – Flere SiC-substratmuligheder (4H-N, HPSI, 4H/6H-P)
Funktioner
●Epitaksial lagtykkelseKan tilpasses fra1,0 µmtil3,5 µm, optimeret til høj effekt og frekvensydelse.
●SiC-substratmulighederFås med forskellige SiC-substrater, herunder:
- 4H-NHøjkvalitets nitrogendoteret 4H-SiC til højfrekvente applikationer med høj effekt.
- HPSIHøjrent halvisolerende SiC til applikationer, der kræver elektrisk isolation.
- 4H/6H-PBlandet 4H og 6H-SiC for en balance mellem høj effektivitet og pålidelighed.
● WaferstørrelserFås i100 mmog150 mmdiametre for alsidighed i enhedsskalering og integration.
● Høj gennemslagsspændingGaN på SiC-teknologi giver høj gennemslagsspænding, hvilket muliggør robust ydeevne i højeffektapplikationer.
● Høj varmeledningsevneSiC's iboende varmeledningsevne (ca. 490 W/m²K) sikrer fremragende varmeafledning til strømkrævende applikationer.
Tekniske specifikationer
Parameter | Værdi |
Waferdiameter | 100 mm, 150 mm |
Epitaksialt lagtykkelse | 1,0 µm – 3,5 µm (kan tilpasses) |
SiC-substrattyper | 4H-N, HPSI, 4H/6H-P |
SiC termisk ledningsevne | 490 W/m²K |
SiC-resistivitet | 4H-N: 10^6 Ω·cm,HPSIHalvisolerende,4H/6H-PBlandet 4H/6H |
GaN-lagtykkelse | 1,0 µm – 2,0 µm |
GaN-bærerkoncentration | 10^18 cm^-3 til 10^19 cm^-3 (kan tilpasses) |
Waferoverfladekvalitet | RMS-ruhed< 1 nm |
Dislokationstæthed | < 1 x 10^6 cm^-2 |
Waferbue | < 50 µm |
Waferens fladhed | < 5 µm |
Maksimal driftstemperatur | 400°C (typisk for GaN-på-SiC-enheder) |
Applikationer
●Effektelektronik:GaN-på-SiC-wafere giver høj effektivitet og varmeafledning, hvilket gør dem ideelle til effektforstærkere, effektkonverteringsenheder og effektinverterkredsløb, der anvendes i elbiler, vedvarende energisystemer og industrimaskiner.
●RF-effektforstærkere:Kombinationen af GaN og SiC er perfekt til højfrekvente RF-applikationer med høj effekt, såsom telekommunikation, satellitkommunikation og radarsystemer.
● Luftfart og forsvar:Disse wafere er velegnede til luftfarts- og forsvarsteknologier, der kræver højtydende effektelektronik og kommunikationssystemer, der kan fungere under barske forhold.
●Anvendelser inden for bilindustrien:Ideel til højtydende strømsystemer i elbiler (EV'er), hybridbiler (HEV'er) og ladestationer, hvilket muliggør effektiv strømomdannelse og -styring.
● Militære og radarsystemer:GaN-på-SiC-wafere bruges i radarsystemer på grund af deres høje effektivitet, effekthåndteringsevne og termiske ydeevne i krævende miljøer.
● Mikrobølgeovns- og millimeterbølgeapplikationer:Til næste generations kommunikationssystemer, herunder 5G, giver GaN-on-SiC optimal ydeevne i mikrobølge- og millimeterbølgeområder med høj effekt.
Spørgsmål og svar
Q1: Hvad er fordelene ved at bruge SiC som substrat til GaN?
A1:Siliciumcarbid (SiC) tilbyder overlegen termisk ledningsevne, høj gennemslagsspænding og mekanisk styrke sammenlignet med traditionelle substrater som silicium. Dette gør GaN-på-SiC-wafere ideelle til applikationer med høj effekt, høj frekvens og høj temperatur. SiC-substratet hjælper med at aflede varmen, der genereres af GaN-enheder, hvilket forbedrer pålidelighed og ydeevne.
Q2: Kan tykkelsen af det epitaksiale lag tilpasses til specifikke anvendelser?
A2:Ja, tykkelsen af det epitaksiale lag kan tilpasses inden for et interval af1,0 µm til 3,5 µm, afhængigt af din applikations effekt- og frekvenskrav. Vi kan skræddersy GaN-lagets tykkelse for at optimere ydeevnen for specifikke enheder som effektforstærkere, RF-systemer eller højfrekvente kredsløb.
Q3: Hvad er forskellen mellem 4H-N, HPSI og 4H/6H-P SiC-substrater?
A3:
- 4H-NNitrogendoteret 4H-SiC bruges almindeligvis til højfrekvente applikationer, der kræver høj elektronisk ydeevne.
- HPSIHøjrent halvisolerende SiC giver elektrisk isolering, ideel til applikationer, der kræver minimal elektrisk ledningsevne.
- 4H/6H-PEn blanding af 4H og 6H-SiC, der balancerer ydeevne og tilbyder en kombination af høj effektivitet og robusthed, velegnet til forskellige effektelektroniske applikationer.
Q4: Er disse GaN-på-SiC-wafere egnede til højtydende applikationer som elbiler og vedvarende energi?
A4:Ja, GaN-på-SiC-wafere er velegnede til højtydende applikationer såsom elbiler, vedvarende energi og industrielle systemer. Den høje gennemslagsspænding, høje termiske ledningsevne og effekthåndteringsevnen hos GaN-på-SiC-enheder gør dem i stand til at fungere effektivt i krævende effektkonverterings- og styrekredsløb.
Q5: Hvad er den typiske dislokationstæthed for disse wafere?
A5:Dislokationstætheden af disse GaN-på-SiC-wafere er typisk< 1 x 10^6 cm^-2, hvilket sikrer epitaksial vækst af høj kvalitet, minimerer defekter og forbedrer enhedens ydeevne og pålidelighed.
Q6: Kan jeg anmode om en specifik waferstørrelse eller SiC-substrattype?
A6:Ja, vi tilbyder tilpassede waferstørrelser (100 mm og 150 mm) og SiC-substrattyper (4H-N, HPSI, 4H/6H-P) for at imødekomme de specifikke behov i din applikation. Kontakt os venligst for yderligere tilpasningsmuligheder og for at drøfte dine krav.
Q7: Hvordan fungerer GaN-på-SiC-wafere i ekstreme miljøer?
A7:GaN-på-SiC-wafere er ideelle til ekstreme miljøer på grund af deres høje termiske stabilitet, høje effekthåndtering og fremragende varmeafledningsevne. Disse wafere fungerer godt under forhold med høj temperatur, høj effekt og høj frekvens, der almindeligvis forekommer i luftfart, forsvar og industrielle applikationer.
Konklusion
Vores specialfremstillede GaN-på-SiC epitaksiale wafere kombinerer de avancerede egenskaber ved GaN og SiC for at give overlegen ydeevne i højeffekt- og højfrekvensapplikationer. Med flere SiC-substratmuligheder og brugerdefinerbare epitaksiale lag er disse wafere ideelle til industrier, der kræver høj effektivitet, termisk styring og pålidelighed. Uanset om det er til effektelektronik, RF-systemer eller forsvarsapplikationer, tilbyder vores GaN-på-SiC-wafere den ydeevne og fleksibilitet, du har brug for.
Detaljeret diagram



