Højtydende aluminiumoxidkeramisk endeeffektor (gaffelarm) til halvleder- og renrumsautomation

Kort beskrivelse:

Alumina Ceramic End Effector, også kaldet en keramisk gaffelarm eller robotkeramisk hånd, er en højpræcisionshåndteringskomponent designet til automatiserede systemer i halvleder-, solcelle-, paneldisplay- og laboratoriemiljøer med høj renhed. Den er konstrueret til at give enestående termisk stabilitet, mekanisk stivhed og kemisk resistens, hvilket giver ren, pålidelig og sikker transport af følsomme materialer såsom siliciumskiver, glassubstrater og elektroniske mikrokomponenter.

Send e-mail til os

Funktioner

Detaljeret diagram

Produktintroduktion

Som en type robot-endeeffektor er denne keramiske komponent den endelige grænseflade mellem automatiseringssystemet og emnet. Den spiller en afgørende rolle i præcisionsoverførsel, justering, lastning/losning og positioneringsopgaver i renrum og vakuummiljøer.

keramisk arm til waferdrev af halvledere G13

keramisk arm til waferdrev af halvledere G10

keramisk arm til waferdrev af halvledere G07

Materialeoversigt – Alumina Keramik (Al₂O₃)

Alumina-keramik er et yderst stabilt og kemisk inert teknisk keramisk materiale, der er kendt for sine fremragende mekaniske og elektriske egenskaber. Den højrenhed (≥ 99,5%) aluminiumoxid, der anvendes i disse sluteffektorer, sikrer:

Høj hårdhed (Mohs 9)Kun overgået af diamant giver aluminiumoxid ekstrem slidstyrke.
HøjtemperaturkapacitetOpretholder strukturel integritet over 1600°C.
Kemisk inertitetResistent over for syrer, alkalier, opløsningsmidler og plasmaætsningsmiljøer.
Elektrisk isoleringMed høj dielektrisk styrke og lavt dielektrisk tab.
Lav termisk udvidelseSikrer dimensionsstabilitet i termiske cykliske miljøer.
Lav partikelgenereringEssentiel for kompatibilitet med renrum (klasse 10 til klasse 1000).

Disse egenskaber gør aluminiumoxidkeramik ideel til missionskritiske operationer i kontamineringsfølsomme industrier.

Funktionelle applikationer

Den keramiske aluminiumoxid-endeeffektor anvendes i vid udstrækning i højteknologiske industrielle processer, især hvor traditionelle metalliske eller plastiske materialer ikke holder mål på grund af termisk udvidelse, kontaminering eller korrosionsproblemer. Vigtige anvendelsesområder omfatter:

Overførsel af halvlederwafere
Fotolitografiske laste- og aflæsningssystemer
Håndtering af glassubstrat i OLED- og LCD-linjer
Overførsel af krystallinsk siliciumwafer i solcelleproduktion
Automatiseret optisk eller mikroelektronisk inspektion
Prøvetransport i analytiske eller biomedicinske laboratorier
Automatiseringssystemer til vakuummiljøer

Dens evne til at fungere uden at introducere partikler eller statisk elektricitet gør den uundværlig til præcise robotoperationer i renrumsautomation.

Designfunktioner og tilpasning

Hver keramisk endeeffektor er konstrueret til at passe til en specifik robotarm eller et waferhåndteringssystem. Vi understøtter fuld tilpasning baseret på:

Kompatibilitet med waferstørrelser: 2", 4", 6", 8", 12" og mere
Slotgeometri og afstandTil kantgreb, støtte bagpå eller hakformede waferdesigns
SugeporteIntegrerede vakuumhuller eller -kanaler til berøringsfri håndtering
MonteringskonfigurationHuller, gevind, slidser skræddersyet til din robots endeværktøjsflange
OverfladebehandlingPoleret, slebet eller finslebet finish (Ra < 0,2 µm tilgængelig)
KantbeskyttelseAfrundede hjørner eller affasning for at undgå waferskader

Ved at bruge CAD-tegninger eller 3D-modeller leveret af kunder kan vores ingeniører optimere hver gaffelarm med hensyn til vægt, styrke og renlighed.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Fordele ved keramiske endeeffektorer

Funktion	Fordel
Høj mekanisk stivhed	Opretholder dimensionel præcision under robotbelastningskræfter
Fremragende termisk ydeevne	Fungerer pålideligt i miljøer med høje temperaturer eller plasma
Nul metalforurening	Ingen risiko for ionkontaminering i kritisk halvlederbehandling
Lavfriktionsoverflade	Reducerer risikoen for ridse på wafer- eller glassubstrater
Antistatisk og ikke-magnetisk	Tiltrækker ikke støv og påvirker ikke magnetisk følsomme komponenter
Lang levetid	Overlegen slidstyrke i gentagne højhastighedsautomatiseringscyklusser
Ultra-ren kompatibilitet	Velegnet til ISO 14644 renrum (klasse 100 og derunder)

Sammenlignet med plast- eller aluminiumsarme giver aluminiumoxidkeramik dramatisk forbedret kemisk og fysisk stabilitet med minimale vedligeholdelseskrav.

Ejendom	Metalarm	Plastikarm	Alumina Keramisk Arm
Hårdhed	Moderat	Lav	Meget høj (Mohs 9)
Termisk stabilitet	≤ 500°C	≤ 150°C	≥ 1600°C
Kemisk resistens	Moderat	Dårlig	Fremragende
Egnethed til renrum	Medium	Lav	Meget høj
Slidstyrke	Medium	Lav	Udestående
Dielektrisk styrke	Lav	Medium	Høj
Præcisionsbearbejdning af brugerdefineret bearbejdning	Begrænset	Moderat	Høj (±0,01 mm muligt)

Tekniske specifikationer

Parameter	Værdi
Materiale	Højrent aluminiumoxid (≥ 99,5%)
Arbejdstemperatur	Op til 1600°C
Overfladeruhed	Ra ≤ 0,2 µm (valgfrit)
Kompatible waferstørrelser	2" til 12" eller brugerdefineret
Fladhedstolerance	±0,01 mm (afhængig af anvendelse)
Støtte til vakuumsugning	Valgfrie, brugerdefinerede kanaler
Monteringsmuligheder	Gennemboltning, flange, slidshuller

Ofte stillede spørgsmål (FAQ)

Q1: Kan sluteffektoren integreres i eksisterende robotsystemer?
A1:Ja. Vi understøtter tilpasning baseret på din robotgrænseflade. Du kan sende os en CAD-tegning eller flangedimensioner for præcis tilpasning.

Q2: Vil keramiske arme let knække under brug?
A2:Selvom keramik er sprødt af natur, bruger vores designs optimeret geometri for at minimere spændingskoncentration. Under korrekte brugsforhold giver de betydeligt længere levetid end metal eller plastik.

Q3: Er det muligt at bruge dette i ultrahøjvakuum- eller plasmaætsningskamre?
A3:Ja. Alumina-keramik afgiver ikke gas, er termisk stabilt og korrosionsbestandigt – perfekt egnet til miljøer med højt vakuum, reaktiv gas eller plasma.

Q4: Hvordan rengøres eller vedligeholdes disse komponenter?
A4:De kan rengøres med deioniseret vand, alkohol eller rengøringsmidler, der er kompatible med renrum. På grund af deres kemiske stabilitet og inerte overflade er der ikke behov for særlig vedligeholdelse.

Om os

XKH specialiserer sig i højteknologisk udvikling, produktion og salg af specielt optisk glas og nye krystalmaterialer. Vores produkter anvendes til optisk elektronik, forbrugerelektronik og militæret. Vi tilbyder optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedæksler, keramik, LT, siliciumcarbid SIC, kvarts og halvlederkrystalwafere. Med dygtig ekspertise og avanceret udstyr udmærker vi os inden for ikke-standard produktforarbejdning og sigter mod at være en førende højteknologisk virksomhed inden for optoelektroniske materialer.