N-Type SiC på Si-kompositsubstrater Dia6 tommer

等级Grad

Du 级

P级

D级

Lav BPD-grad

Produktionskvalitet

Dummy-karakter

直径Diameter

150,0 mm ± 0,25 mm

厚度Tykkelse

500 μm ± 25 μm

晶片方向Waferorientering

Uden for aksen: 4,0° mod < 11-20 > ±0,5° for 4H-N På aksen: < 0001 > ±0,5° for 4H-SI

主定位边方向Primær lejlighed

{10-10}±5,0°

主定位边长度Primær flad længde

47,5 mm ± 2,5 mm

边缘Kantudelukkelse

3 mm

总厚度变化/弯曲度/翘曲度 TTV/Bow /Warp

≤15 μm / ≤40 μm / ≤60 μm

微管密度和基面位错MPD og BPD

MPD≤1 cm-2

MPD≤5 cm-2

MPD≤15 cm-2

BPD≤1000cm-2

电阻率Modstandsevne

≥1E5 Ω·cm

表面粗糙度Ruhed

Polsk Ra≤1 nm

CMP Ra≤0,5 nm

裂纹(强光灯观测) #

Ingen

Kumulativ længde ≤10 mm, enkelt længde ≤2 mm

Revner forårsaget af højintensivt lys

六方空洞（强光灯观测）*

Kumulativt areal ≤1%

Kumulativt areal ≤5%

Sekskantplader med højintensivt lys

多型(强光灯观测)*

Ingen

Kumulativt areal ≤5%

Polytypeområder ved højintensivt lys

划痕(强光灯观测)*&

3 ridser på 1×waferdiameter

5 ridser til 1×waferdiameter

Ridser fra højintensivt lys

kumulativ længde

kumulativ længde

崩边# Kantchip

Ingen

5 tilladte, ≤1 mm hver

表面污染物（强光灯观测）

Ingen

Kontaminering med højintensivt lys