Premium safir løftestifter Enkeltkrystal Al₂O₃ wafer løftestift
Tekniske parametre
| Kemisk sammensætning | Al2O3 |
| Hårdhed | 9Mohs |
| Optisk natur | Uniaksial |
| Brydningsindeks | 1,762-1,770 |
| Dobbeltbrydning | 0,008-0,010 |
| Dispersion | Lav, 0,018 |
| Glans | Glaslegemet |
| Pleokroisme | Moderat til stærk |
| Diameter | 0,4 mm-30 mm |
| Diametertolerance | 0,004 mm-0,05 mm |
| længde | 2 mm-150 mm |
| længdetolerance | 0,03 mm-0,25 mm |
| Overfladekvalitet | 40/20 |
| Overfladerundhed | RZ0,05 |
| Brugerdefineret form | begge ender flade, den ene ende rød, begge ender røde, sadelstifter og specialformer |
Nøglefunktioner
1. Enestående hårdhed og slidstyrke: Med en Mohs-hårdhedsklassificering på 9, kun overgået af diamant, udviser Sapphire Lift Pins slidegenskaber, der dramatisk overgår traditionelle siliciumcarbid-, aluminiumoxidkeramik- eller metallegeringsalternativer. Denne ekstreme hårdhed resulterer i betydeligt reduceret partikelgenerering og vedligeholdelseskrav, med en levetid, der typisk er 3-5 gange længere end konventionelle materialer i sammenlignelige anvendelser.
2. Overlegen modstandsdygtighed over for høje temperaturer: Safirløftestifter er konstrueret til at modstå vedvarende drift ved temperaturer over 1000 °C uden forringelse og opretholder dimensionsstabilitet og mekanisk styrke i de mest krævende termiske processer. Dette gør dem særligt værdifulde til kritiske anvendelser såsom kemisk dampaflejring (CVD), metalorganisk kemisk dampaflejring (MOCVD) og højtemperaturglødningssystemer, hvor termisk ekspansionsforskel kan kompromittere procesudbyttet.
3. Kemisk inertitet: Den enkeltkrystalformede safirstruktur udviser bemærkelsesværdig modstandsdygtighed over for angreb fra HF-syre, klorbaserede kemikalier og andre aggressive procesgasser, der almindeligvis forekommer i halvlederfremstilling. Denne kemiske stabilitet sikrer ensartet ydeevne i plasmamiljøer og forhindrer dannelse af overfladefejl, der kan føre til waferkontaminering.
4. Lav partikelforurening: Disse løftepinde er fremstillet af defektfri safirkrystaller med høj renhed (typisk >99,99%) og udviser minimal partikelafgivelse, selv efter længere tids brug. Deres ikke-porøse overfladestruktur og polerede finish opfylder de strengeste krav til renrum, hvilket direkte bidrager til forbedrede procesudbytter i avanceret fremstilling af nodehalvledere.
Højpræcisionsbearbejdning: Ved hjælp af avancerede diamantslibnings- og laserbearbejdningsteknikker kan Sapphire Lift Pins produceres med tolerancer på submikron og overfladebehandlinger under 0,05 μm Ra. Brugerdefinerede geometrier, herunder koniske profiler, specielle spidskonfigurationer og integrerede justeringsfunktioner, kan konstrueres for at imødekomme specifikke udfordringer inden for waferhåndtering i næste generations fremstillingsudstyr.
Primære anvendelser
1. Halvlederfremstilling: Safirløftestifter spiller en afgørende rolle i avancerede waferbehandlingssystemer, da de yder pålidelig støtte og præcis positionering under fotolitografi, ætsning, aflejring og inspektionsprocesser. Deres termiske og kemiske stabilitet gør dem særligt værdifulde i EUV-litografiværktøjer og avancerede emballeringsapplikationer, hvor dimensionsstabilitet på nanometerskalaer er afgørende.
2. LED-epitaksi (MOCVD): I galliumnitrid (GaN) og relaterede sammensatte halvleder-epitaksiale vækstsystemer giver safirløftepinde stabil waferstøtte ved temperaturer, der ofte overstiger 1000 °C. Deres matchede termiske ekspansionsegenskaber med safirsubstrater minimerer waferbøjning og slipdannelse under den epitaksiale vækstproces.
3. Fotovoltaisk industri: Højeffektiv solcelleproduktion drager fordel af safirs unikke egenskaber i højtemperaturdiffusion, sintring og tyndfilmsaflejringsprocesser. Stifternes slidstyrke er særligt værdifuld i masseproduktionsmiljøer, hvor komponenternes levetid direkte påvirker produktionsomkostningerne.
4. Præcisionsoptik og elektronikbehandling: Ud over halvlederapplikationer finder safirløftepinde anvendelse i håndtering af sarte optiske komponenter, MEMS-enheder og specialsubstrater, hvor kontamineringsfri behandling og ridseforebyggelse er afgørende. Deres elektriske isoleringsegenskaber gør dem ideelle til applikationer, der involverer elektrostatisk følsomme enheder.
XKH's tjenester til safir løftestifter
XKH tilbyder omfattende teknisk support og skræddersyede løsninger til Sapphire Lift Pins:
1. Tilpassede udviklingstjenester
· Understøttelse af tilpasning af dimensioner, geometri og overfladebehandling
· Anbefalinger til materialevalg og optimering af tekniske parametre
· Samarbejdsbaseret produktdesign og simuleringsverifikation
2. Præcisionsproduktionskapaciteter
· Højpræcisionsbearbejdning med tolerancer kontrolleret inden for ±1 μm
· Specialbehandlinger, herunder spejlpolering og kantaffasning
· Valgfrie overflademodifikationsløsninger såsom anti-stick belægninger
3. Kvalitetssikringssystem
· Streng implementering af inspektion af indgående materiale og proceskontrol
· Fulddimensionel optisk inspektion og analyse af overflademorfologi
· Levering af testrapporter for produktets ydeevne
4. Forsyningskædetjenester
· Hurtig levering af standardprodukter
· Dedikeret lagerstyring for nøglekunder
5. Teknisk support
· Rådgivning om applikationsløsninger
· Hurtig eftersalgsrespons
Vi er forpligtet til at levere safir-løftepinsprodukter af høj kvalitet og professionelle tekniske tjenester for at opfylde de strenge krav inden for halvleder-, LED- og andre avancerede industrier.
