Kvartsglaswafer JGS1 JGS2 BF33 Wafer 8 tommer 12 tommer 725 ± 25 um eller tilpasset
Specifikation
Specifikation | 4" | 6" | 8" | 10" | 12” |
Diameter | 100 mm | 150 mm | 200 mm | 250 mm | 300 mm |
Tykkelse | 0,10 mm | 0,30 mm | 0,40 mm | 0,50 mm | 0,50 mm |
Primær lejlighed | 32,5 mm | 47,5 mm / 57,5 mm / Hak | Hak | Hak | Hak |
LTV (5 mm x 5 mm) | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm | < 0,5 µm |
TTV | < 2um | < 3um | <3um | <10µm | <10µm |
Sløjfe | ±20µm | ±30µm | ±40µm | ±40µm | ±40µm |
Forvridning | ≤ 30µm | ≤ 40µm | ≤ 70µm | ≤ 80µm | ≤ 80µm |
Kantafrunding | Overholder SEMI M1.2-standarden/se IEC62276 | ||||
Overfladetype | Enkeltsidet poleret / Dobbeltsidet poleret | ||||
Poleret side Ra | Ra≤1nm | ||||
Kriterier for bagsiden | Ra 0,2-0,7um eller tilpasset |
Kvartsglaswafer JGS1 JGS2 BF33 Waferparametertabel
Anvendelse
Kvartsglaswafere fremstillet af JGS1, JGS2 og BF33 anvendes i vid udstrækning i forskellige højpræcisionsindustrier. Disse wafere er ideelle til halvlederfremstilling, herunder fotomaskesubstrater og wafer-niveauoptik. De er også velegnede til optiske komponenter, lasere og sensorer i industrier som telekommunikation, luftfart og medicinsk udstyr. Deres høje termiske stabilitet og modstandsdygtighed over for termisk chok gør dem perfekte til ekstreme temperaturmiljøer, mens deres exceptionelle transmittans er afgørende for ultraviolet (UV) og infrarød (IR) optik.
Ejendomme
Materialetyper:
JGS1: Høj UV-transmittans, fremragende til ultraviolette lysapplikationer.
JGS2: Balanceret transmittans på tværs af UV-, synligt og infrarødt område, egnet til generel optisk anvendelse.
BF33: Borosilikatglas med høj kemisk resistens og termisk holdbarhed. Størrelsesmuligheder:
Fås i standardstørrelser på 8 tommer og 12 tommer wafere.
Brugerdefinerede størrelser kan fremstilles baseret på specifikke krav. Tykkelse:
Standardtykkelsen er 725 ± 25 μm.
Tilpasset tykkelse tilgængelig for at imødekomme forskellige industrielle behov.
Termiske egenskaber:
Fremragende termisk stabilitet, egnet til brug i miljøer med høj temperatur.
Høj modstandsdygtighed over for termisk chok.
Kemisk resistens:
Stærk modstandsdygtighed over for korrosion fra syrer, alkalier og de fleste kemikalier, især i BF33.
Optiske egenskaber:
JGS1- og JGS2-wafere tilbyder høj optisk transmittans i ultraviolette (UV), synlige og infrarøde (IR) områder.
Ideel til præcisionsoptiske komponenter, fotonik og laserapplikationer.
Overfladekvalitet:
Høj overfladeplanhed og glathed, hvilket sikrer præcision i fremstilling af halvledere og optiske enheder.
Disse egenskaber gør JGS1-, JGS2- og BF33-wafere alsidige og pålidelige til højtydende applikationer på tværs af industrier som optik, elektronik og halvledere.
Samlet set
Kvartsglaswafere fremstillet af JGS1, JGS2 og BF33 tilbyder enestående ydeevne på tværs af en række krævende applikationer. Disse wafere fås i standardstørrelser på 8 tommer og 12 tommer med en tykkelse på 725 ± 25 μm og kan også tilpasses til at opfylde specifikke krav. JGS1 og JGS2 giver høj optisk transmittans i UV-, synligt og IR-områder, mens BF33 tilbyder fremragende kemisk resistens og termisk stabilitet. Med høj overfladeplanhed og glathed er disse wafere ideelle til præcisionsindustrier såsom halvledere, optik og fotonik, hvilket sikrer pålidelighed og holdbarhed i ekstreme miljøer og kritiske applikationer.
Detaljeret diagram

