Siliciumcarbid (SiC) keramisk plade

Kort beskrivelse:

Siliciumcarbid (SiC) keramiske plader er avancerede keramiske komponenter med høj styrke og høj renhed, der er konstrueret til miljøer, der kræver exceptionel termisk stabilitet, mekanisk robusthed og kemisk resistens. Med fremragende hårdhed, lav densitet og overlegen varmeledningsevne anvendes SiC-plader i vid udstrækning i halvlederbehandling, højtemperaturovne, præcisionsmaskiner og korrosive industrielle miljøer.

Send e-mail til os

Funktioner

Detaljeret diagram

Produktoversigt

Disse plader opretholder strukturel integritet under ekstreme forhold, hvilket gør dem til en ideel materialeløsning til næste generations højtydende udstyr.

Nøglefunktioner og egenskaber

Høj hårdhed og slidstyrke– Sammenlignelig med diamant, hvilket sikrer lang levetid.
Lav termisk udvidelse– Minimerer deformation under hurtig opvarmning eller afkøling.
Høj varmeledningsevne– Effektiv varmeafledning til termiske styresystemer.
Enestående kemisk stabilitet– Modstandsdygtig over for syrer, alkalier og plasmamiljøer.
Let, men ekstremt stærk– Højt styrke-til-vægt-forhold sammenlignet med metaller.
Fremragende ydeevne ved høje temperaturer– Arbejdstemperaturer op til 1600°C (afhængigt af kvalitet).
Stærk mekanisk stivhed– Ideel til præcis støtte og strukturel stabilitet.

Fremstillingsmetode

SiC keramiske plader produceres typisk gennem en af følgende processer:

• Reaktionsbundet siliciumcarbid (RBSC / RBSiC)

Dannet ved at infiltrere smeltet silicium i en porøs SiC-præform
Har høj styrke, god bearbejdelighed og dimensionsstabilitet
Velegnet til store plader, der kræver præcis planhed

• Sintret siliciumcarbid (SSiC)

Produceret ved trykløs sintring af SiC-pulver med høj renhed
Tilbyder overlegen renhed, styrke og korrosionsbestandighed
Ideel til halvleder- og kemiske applikationer, der kræver ultrarene forhold

• CVD siliciumkarbid (CVD-SiC)

Kemisk dampaflejringsproces
Højeste renhed, ekstremt tæt og ultraglat overflade
Almindelig i halvlederwaferbærere, susceptorer og vakuumkammerdele

Applikationer

SiC keramiske plader anvendes i vid udstrækning i flere brancher:

Halvleder og elektronik

Waferbærerplader
Susceptorer
Komponenter til diffusionsovne
Dele til ætsnings- og deponeringskammer

Komponenter til højtemperaturovne

Støtteplader
Møbler til ovne
Isolering og beskyttelse af varmesystemet

Industrielt udstyr

Mekaniske slidplader
Glidepuder
Pumpe- og ventilkomponenter
Kemisk korrosionsbestandige plader

Luftfart og forsvar

Letvægtskonstruktionsplader med høj styrke
Komponenter til højtemperaturafskærmning

Specifikationer og tilpasning

SiC keramiske plader kan fremstilles i henhold til tilpassede tegninger:

• Dimensioner:
Tykkelse: 0,5–30 mm
Maksimal sidelængde: op til 600 mm (varierer afhængigt af processen)

• Tolerance:
±0,01–0,05 mm afhængigt af bearbejdningskvalitet

• Overfladefinish:

Slebet / lappet
Poleret (Ra < 5 nm for CVD-SiC)
Som-sintret overflade

• Materialekvaliteter:
RBSiC / SSiC / CVD-SiC

• Formmuligheder:
Flade plader, firkantede plader, runde plader, slidsede plader, perforerede plader osv.

Ofte stillede spørgsmål om kvartsglas

Q1: Hvad er forskellen mellem RBSiC- og SSiC-plader?

A:RBSiC tilbyder god mekanisk styrke og omkostningseffektivitet, mens SSiC har højere renhed, bedre korrosionsbestandighed og højere styrke. SSiC foretrækkes til halvleder- og kemiske applikationer.

Q2: Kan SiC keramiske plader modstå termisk chok?

A:Ja. SiC har lav termisk udvidelse og høj varmeledningsevne, hvilket sikrer fremragende termisk stødmodstand.

Q3: Kan pladerne poleres til spejloverfladeanvendelser?

A:Ja. CVD-SiC og højrent SSiC kan opnå spejlblank polering til optiske eller halvledermæssige behov.

Q4: Understøtter I brugerdefineret bearbejdning?

A:Ja. Plader kan fremstilles efter dine tegninger, inklusive huller, slidser, fordybninger og specialformer.

Om os

XKH specialiserer sig i højteknologisk udvikling, produktion og salg af specielt optisk glas og nye krystalmaterialer. Vores produkter anvendes til optisk elektronik, forbrugerelektronik og militæret. Vi tilbyder optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedæksler, keramik, LT, siliciumcarbid SIC, kvarts og halvlederkrystalwafere. Med dygtig ekspertise og avanceret udstyr udmærker vi os inden for ikke-standard produktforarbejdning og sigter mod at være en førende højteknologisk virksomhed inden for optoelektroniske materialer.