Ultrapræcisions SiC luftlejetrin

Kort beskrivelse:

Med den kontinuerlige udvikling inden for halvlederindustrien kræver proces- og inspektionsudstyr stadigt højere ydeevne. Med udgangspunkt i omfattende ekspertise inden for bevægelseskontrol og positionering på nanometerniveau har vi udviklet et plant H-type dobbeltakset ultrapræcisionsluftlejetrin.

Send e-mail til os

Funktioner

Detaljeret diagram

Oversigt

Bordet er konstrueret med en finite-element-optimeret siliciumcarbid (SiC) keramisk struktur og kompenseret luftlejeteknologi, og leverer enestående nøjagtighed, stivhed og dynamisk respons. Det er ideelt egnet til:

Halvlederbehandling og -inspektion
Mikro-/nanofabrikation og metrologi
Flueskæring og polering i nanometerskala
Højhastigheds præcisionsscanning

Nøglefunktioner

SiC luftlejeføringfor ultrahøj stivhed og præcision
Høj dynamikhastighed op til 1 m/s, acceleration op til 4 g, hurtig afvikling
Dobbeltdrevet gantry Y-aksesikrer høj lasteevne og stabilitet
Encoder-indstillingeroptisk gitter eller laserinterferometer
Positioneringsnøjagtighed±0,15 μm;repeterbarhed±75 nm
Optimeret kabelføringfor rent design og langvarig pålidelighed
Tilpassede konfigurationertil applikationsspecifikke behov

Ultrapræcisionsdesign og direkte drevet, kontaktløs arkitektur

SiC Keramisk Ramme~5 gange stivheden af aluminiumlegering og ~5 gange lavere termisk udvidelse, hvilket sikrer stabilitet ved høj hastighed og termisk robusthed.
Kompenseret luftlejeProprietært design forbedrer stivhed, lasteevne og bevægelsesstabilitet.
Dynamisk ydeevneUnderstøtter en hastighed på 1 m/s og en acceleration på 4 g, ideel til processer med høj kapacitet.
Problemfri integrationKompatibel med vibrationsisoleringssystemer, roterende trin, vippemoduler og waferhåndteringsplatforme.
KabelhåndteringKontrolleret bøjningsradius minimerer belastning for længere levetid.

Kerneløs lineær motorJævn bevægelse uden tandhjulskraft.
MultimotordrevPlacering af motoren i lastplanet forbedrer rethed, fladhed og vinkelpræcision.
Termisk isoleringMotorerne er isoleret fra scenestrukturen; valgfri luft- eller vandkøling til høje driftscyklusser.

Specifikationer

Model	400-400	500-500	600-600
Økser	X (scanning) / Y (trin)	X (scanning) / Y (trin)	X (scanning) / Y (trin)
Vandringsvej (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Nøjagtighed (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Repeterbarhed (nm)	±75	±100	±100
Opløsning (nm)	0,3	0,3	0,3
Maksimal hastighed (m/s)	1	1	1
Acceleration (g)	4	4	4
Rethed (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilitet (nm)	±5	±5	±5
Maks. belastning (kg)	20	20	20
Hældning/Rulning/Giring (bue-sekund)	±1	±1	±1

Testbetingelser:

Lufttilførsel: ren, tør; dugpunkt ≤ 0°F; partikelfiltrering ≤ 0,25 μm; eller 99,99% nitrogen.
Nøjagtighed målt 25 mm over scenens centrum ved 20±1 °C, 40-60 % RF.

Applikationer

Halvlederlitografi, inspektion og waferhåndtering
Mikro-/nanofabrikation og præcisionsmetrologi
Fremstilling af avanceret optik og interferometri
Luftfart og avanceret videnskabelig forskning

Ofte stillede spørgsmål – Luftlejetrin af siliciumcarbid

1. Hvad er et luftbærende trin?

Et luftbærende trin bruger en tynd film af trykluft mellem trinet og føringsskinnen for at givefriktionsfri, slidfri og ultrajævn bevægelseI modsætning til konventionelle mekaniske lejer eliminerer den stick-slip, leverer nøjagtighed på nanometerniveau og understøtter langvarig pålidelighed.

2. Hvorfor skal man bruge siliciumcarbid (SiC) til scenestrukturen?

Høj stivhed~5 gange så meget som aluminiumslegering, hvilket minimerer deformation under dynamisk bevægelse.
Lav termisk udvidelse~5× lavere end aluminium, hvilket opretholder nøjagtighed under temperaturvariationer.
LetvægtsLavere densitet sammenlignet med stål, hvilket muliggør drift med høj hastighed og høj acceleration.
Fremragende stabilitetOverlegen dæmpning og stivhed for ultrapræcis positionering.

3. Kræver scenen smøring eller vedligeholdelse?

Traditionel smøring er ikke nødvendig, da der eringen mekanisk kontaktAnbefalet vedligeholdelse omfatter:

Leveringren, tør trykluft eller nitrogen
Periodisk inspektion af filtre og tørretumblere
Overvågning af kabler og kølesystemer

4. Hvad er kravene til lufttilførsel?

Dugpunkt: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Partikelfiltrering: ≤ 0,25 μm
Ren, tør luft eller 99,99% rent nitrogen
Stabilt tryk med minimal udsving

Om os

XKH specialiserer sig i højteknologisk udvikling, produktion og salg af specielt optisk glas og nye krystalmaterialer. Vores produkter anvendes til optisk elektronik, forbrugerelektronik og militæret. Vi tilbyder optiske safirkomponenter, mobiltelefonlinsedæksler, keramik, LT, siliciumcarbid SIC, kvarts og halvlederkrystalwafere. Med dygtig ekspertise og avanceret udstyr udmærker vi os inden for ikke-standard produktforarbejdning og sigter mod at være en førende højteknologisk virksomhed inden for optoelektroniske materialer.