12 tommer diameter 300 x 1,0 mm safirwafersubstrat C-plan SSP/DSP
Markedssituationen for 12-tommer safirsubstrat
Safir har i øjeblikket to hovedanvendelser, den ene er substratmateriale, som primært er LED-substratmateriale, den anden er urskive, luftfart, rumfart, specialfremstillingsvinduemateriale.
Selvom siliciumcarbid, silicium og galliumnitrid udover safir også findes som substrater til LED'er, er masseproduktion stadig ikke mulig på grund af omkostninger og nogle uløste tekniske flaskehalse. Safirsubstrat gennem den tekniske udvikling i de senere år, er dets gittertilpasning, elektriske ledningsevne, mekaniske egenskaber, termiske ledningsevne og andre egenskaber blevet betydeligt forbedret og fremmet, hvilket giver en betydelig omkostningseffektiv fordel, så safir er blevet det mest modne og stabile substratmateriale i LED-industrien og har været meget udbredt på markedet med en markedsandel på så høj som 90%.
Karakteristisk for 12 tommer safirwafersubstrat
1. Safirsubstratoverflader har et ekstremt lavt partikelantal, med færre end 50 partikler på 0,3 mikron eller større pr. 2 tommer i størrelsesområdet 2 til 8 tommer, og hovedmetallerne (K, Ti, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn) under 2E10/cm2. 12-tommer basismaterialet forventes også at opnå denne kvalitet.
2. Kan bruges som bærewafer til 12-tommer halvlederfremstillingsprocessen (transportpaller i enheder) og som substrat til bonding.
3. Kan styre formen af konkav og konveks overflade.
Materiale: Højrent enkeltkrystal Al2O3, safirwafer.
LED-kvalitet, ingen bobler, revner, tvillinger, afstamning, ingen farve osv.
12 tommer safirskiver
| Orientering | C-plan<0001> +/- 1 grad. |
| Diameter | 300,0 +/-0,25 mm |
| Tykkelse | 1,0 +/-25µm |
| Hak | Hak eller flad |
| TTV | <50µm |
| SLØJFE | <50µm |
| Kanter | Beskyttende affasning |
| Forside – poleret 80/50 | |
| Lasermærke | Ingen |
| Emballage | Enkelt waferbærerkasse |
| Forside Epi-klar poleret (Ra <0,3nm) | |
| Bagside Epi-klar poleret (Ra <0,3nm) | |
Detaljeret diagram
