156 mm 159 mm 6 tommer safirwafer til bærer C-Plane DSP TTV
Specifikation
| Punkt | 6-tommer C-plane (0001) safirskiver | |
| Krystalmaterialer | 99,999%, høj renhed, monokrystallinsk Al2O3 | |
| Grad | Prime, Epi-Klar | |
| Overfladeorientering | C-plan(0001) | |
| C-planets skæve vinkel i forhold til M-aksen 0,2 +/- 0,1° | ||
| Diameter | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
| Tykkelse | 650 μm +/- 25 μm | |
| Primær flad orientering | C-plan (00-01) +/- 0,2° | |
| Enkeltsidet poleret | Forside | Epipoleret, Ra < 0,2 nm (ved AFM) |
| (SSP) | Bagflade | Finmalet, Ra = 0,8 μm til 1,2 μm |
| Dobbeltsidet poleret | Forside | Epipoleret, Ra < 0,2 nm (ved AFM) |
| (DSP) | Bagflade | Epipoleret, Ra < 0,2 nm (ved AFM) |
| TTV | < 20 μm | |
| SLØJFE | < 20 μm | |
| VARP | < 20 μm | |
| Rengøring / Emballering | Rengøring af renrum i klasse 100 og vakuumpakning, | |
| 25 stk. i én kassetteemballage eller enkeltstyksemballage. | ||
Kylopoulos-metoden (KY-metoden) bruges i øjeblikket af mange virksomheder i Kina til at producere safirkrystaller til brug i elektronik- og optikindustrien.
I denne proces smeltes aluminiumoxid med høj renhed i en digel ved temperaturer over 2100 grader Celsius. Normalt er diglen lavet af wolfram eller molybdæn. En præcist orienteret podekrystal nedsænkes i den smeltede aluminiumoxid. Podekrystallen trækkes langsomt opad og kan roteres samtidigt. Ved præcist at kontrollere temperaturgradienten, trækhastigheden og afkølingshastigheden kan en stor, enkeltkrystalformet, næsten cylindrisk barre fremstilles af smelten.
Efter at enkeltkrystal-safirbarrerne er dyrket, bores de til cylindriske stænger, som derefter skæres til den ønskede vinduestykkelse og endelig poleres til den ønskede overfladefinish.
Detaljeret diagram
