8 tommer siliciumwafer P/N-type (100) 1-100Ω dummy genbrugssubstrat
Introduktion af waferboks
8-tommer siliciumwaferen er et almindeligt anvendt siliciumsubstratmateriale og bruges i vid udstrækning i fremstillingsprocessen for integrerede kredsløb. Sådanne siliciumwafere bruges almindeligvis til at fremstille forskellige typer integrerede kredsløb, herunder mikroprocessorer, hukommelseschips, sensorer og andre elektroniske enheder. 8-tommer siliciumwafere bruges almindeligvis til at fremstille chips af relativt store størrelser, med fordele, herunder et større overfladeareal og muligheden for at fremstille flere chips på en enkelt siliciumwafer, hvilket fører til øget produktionseffektivitet. 8-tommer siliciumwaferen har også gode mekaniske og kemiske egenskaber, hvilket er egnet til storstilet produktion af integrerede kredsløb.
Produktfunktioner
8" P/N-type, poleret siliciumwafer (25 stk.)
Orientering: 200
Modstand: 0,1 - 40 ohm•cm (Kan variere fra batch til batch)
Tykkelse: 725 +/- 20 um
Prime/Skærm/Testkarakter
MATERIALE EGENSKABER
Parameter | Karakteristisk |
Type/doteringsmiddel | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen |
Orienteringer | <100>, <111> afskæringsretninger i henhold til kundens specifikationer |
Iltindhold | 1019ppmA Tilpassede tolerancer efter kundens specifikation |
Kulstofindhold | < 0,6 ppmA |
MEKANISKE EGENSKABER
Parameter | Prime | Overvåg/test A | Prøve |
Diameter | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Tykkelse | 725±20µm (standard) | 725±25µm (standard) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Sløjfe | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Indpakning | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kantafrunding | SEMI-STD | ||
Mærkning | Kun primær halvlejlighed, halvlejligheder i standardstil Jeida-lejlighed, hak |
Parameter | Prime | Overvåg/test A | Prøve |
Kriterier for forsiden | |||
Overfladetilstand | Kemisk Mekanisk Poleret | Kemisk Mekanisk Poleret | Kemisk Mekanisk Poleret |
Overfladeruhed | < 2°C | < 2°C | < 2°C |
Forurening Partikler ved >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dis, Gruber Appelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen |
Sav, mærker Striber | Ingen | Ingen | Ingen |
Kriterier for bagsiden | |||
Revner, kragetæer, savmærker, pletter | Ingen | Ingen | Ingen |
Overfladetilstand | Ætset ætset |
Detaljeret diagram


