8 tommer silicium wafer P/N-type (100) 1-100Ω dummy genvindingssubstrat
Introduktion af wafer box
Den 8-tommers siliciumwafer er et almindeligt anvendt siliciumsubstratmateriale og er meget udbredt i fremstillingsprocessen af integrerede kredsløb. Sådanne siliciumwafers bruges almindeligvis til at fremstille forskellige typer integrerede kredsløb, herunder mikroprocessorer, hukommelseschips, sensorer og andre elektroniske enheder. 8-tommer silicium wafers bruges almindeligvis til at lave chips af relativt store størrelser, med fordele, herunder et større overfladeareal og evnen til at lave flere chips på en enkelt silicium wafer, hvilket fører til øget produktionseffektivitet. Den 8-tommer silicium wafer har også gode mekaniske og kemiske egenskaber, som er velegnet til storskala integreret kredsløb produktion.
Produktegenskaber
8" P/N type, poleret silicium wafer (25 stk)
Orientering: 200
Resistivitet: 0,1 - 40 ohm•cm (det kan variere fra batch til batch)
Tykkelse: 725+/-20um
Prime/Monitor/Testkarakter
MATERIALEGENSKABER
Parameter | Karakteristisk |
Type/Doant | P, Bor N, Fosfor N, Antimon N, Arsen |
Orienteringer | <100>, <111> skærer retninger af efter kundens specifikationer |
Iltindhold | 1019ppmA Brugerdefinerede tolerancer pr. kundes specifikation |
Kulstofindhold | < 0,6 ppmA |
MEKANISKE EGENSKABER
Parameter | Prime | Monitor/test A | Prøve |
Diameter | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Tykkelse | 725±20µm (standard) | 725±25 µm (standard) 450±25 µm 625±25 µm 1000±25 µm 1300±25 µm 1500±25 µm | 725±50µm (standard) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Sløjfe | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Indpakning | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Kant afrunding | SEMI-STD | ||
Mærkning | Kun Primær SEMI-Flat, SEMI-STD Flats Jeida Flat, Notch |
Parameter | Prime | Monitor/test A | Prøve |
Forsidekriterier | |||
Overfladetilstand | Kemisk Mekanisk poleret | Kemisk Mekanisk poleret | Kemisk Mekanisk poleret |
Overfladeruhed | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Forurening Partikler @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Dis, gruber Appelsinskal | Ingen | Ingen | Ingen |
Så, Marks Strænger | Ingen | Ingen | Ingen |
Bagsidekriterier | |||
Revner, kragefødder, savmærker, pletter | Ingen | Ingen | Ingen |
Overfladetilstand | Ætsende ætset |