Mønstret safirsubstrat PSS 2inch 4inch 6inch ICP tør ætsning kan bruges til LED -chips
Kerneegenskab
1. Materialeegenskaber: Underlagsmaterialet er en enkelt krystal safir (al₂o₃), med høj hårdhed, høj varmemodstand og kemisk stabilitet.
2. Overfladestruktur: Overfladen er dannet af fotolitografi og ætsning i periodiske mikro-nano-strukturer, såsom kegler, pyramider eller hexagonale arrays.
3. Optisk ydeevne: Gennem overflademønstringsdesignet reduceres den samlede reflektion af lys ved grænsefladen, og lysekstraktionseffektiviteten forbedres.
4. Termisk ydeevne: Sapphire -substrat har fremragende termisk ledningsevne, der er egnet til LED -applikationer med høj effekt.
5. Størrelsesspecifikationer: Almindelige størrelser er 50 inches (50,8 mm), 4 tommer (100 mm) og 60 mm (150 mm).
Hovedapplikationsområder
1. LED -fremstilling:
Forbedret lysekstraktionseffektivitet: PSS reducerer lystab gennem mønstringdesign, hvilket forbedrer LED -lysstyrke og lysende effektivitet markant.
Forbedret epitaksial vækstkvalitet: Den mønstrede struktur giver et bedre vækstbase for gan -epitaksiale lag og forbedrer LED -ydelsen.
2. laserdiode (LD):
Lasere med høj effekt: Den høje termiske ledningsevne og stabilitet af PSS er velegnet til laserdioder med høj effekt, hvilket forbedrer ydelsen af varmeafledning og pålidelighed.
Strøm med lav tærskel: Optimer epitaksial vækst, reducer tærskelstrømmen for laserdioden og forbedrer effektiviteten.
3. fotodetektor:
Høj følsomhed: PSS's høje lys og lav defektdensitet forbedrer fotodetektorens følsomhed og responshastighed.
Bred spektral respons: Velegnet til fotoelektrisk detektion i ultraviolet til synligt interval.
4. Power Electronics:
Højspændingsmodstand: Sapphires høje isolering og termisk stabilitet er velegnet til højspændingseffektanordninger.
Effektiv varmeafledning: Høj termisk ledningsevne forbedrer varmeafledningens ydelse af strømenheder og forlænger levetiden.
5. RF -enheder:
Højfrekvent ydeevne: Det lave dielektriske tab og den høje termiske stabilitet af PSS er velegnet til højfrekvente RF -enheder.
Lav støj: Høj fladhed og lav defektdensitet reducerer enhedsstøj og forbedrer signalkvaliteten.
6. Biosensorer:
Detektion af høj følsomhed: Den høje lysoverførsel og kemisk stabilitet af PSS er velegnet til biosensorer med høj følsomhed.
Biokompatibilitet: Biokompatibiliteten af Sapphire gør det velegnet til medicinske og biodetektionsapplikationer.
Mønstret safirsubstrat (PSS) med gan -epitaksialmateriale:
Mønstret safirsubstrat (PSS) er et ideelt substrat til GaN (gallium nitrid) epitaksial vækst. Safirets gitterkonstant er tæt på GaN, hvilket kan reducere gittermisbrug og defekter i epitaksial vækst. Mikro-nano-strukturen af PSS-overfladen forbedrer ikke kun lysekstraktionseffektiviteten, men forbedrer også krystalkvaliteten af det gan-epitaksiale lag og forbedrer derved ydelsen og pålideligheden af LED.
Tekniske parametre
Punkt | Mønstret safirsubstrat (2 ~ 6 tommer) | ||
Diameter | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
Tykkelse | 430 ± 25μm | 650 ± 25μm | 1000 ± 25μm |
Overfladeorientering | C-plan (0001) off-vinkel mod M-akse (10-10) 0,2 ± 0,1 ° | ||
C-plan (0001) off-vinkel mod A-aksen (11-20) 0 ± 0,1 ° | |||
Primær flad orientering | A-plan (11-20) ± 1,0 ° | ||
Primær flad længde | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
R-plan | 9-o'clock | ||
Frontoverfladefinish | Mønstret | ||
Bagoverfladefinish | SSP: Fin-jord, RA = 0,8-1,2um; DSP: Epi-poleret, RA <0,3nm | ||
Lasermærke | Bagsiden | ||
TTV | ≤8μm | ≤10μm | ≤20μm |
SLØJFE | ≤10μm | ≤15μm | ≤25μm |
Warp | ≤12μm | ≤20μm | ≤30μm |
Kantekskludering | ≤2 mm | ||
Mønsterspecifikation | Formstruktur | Dome, kegle, pyramide | |
Mønsterhøjde | 1,6 ~ 1,8 μm | ||
Mønsterdiameter | 2,75 ~ 2,85μm | ||
Mønsterplads | 0,1 ~ 0,3 μm |
XKH er specialiseret i at levere høj kvalitet, tilpassede mønstrede safirunderlag (PSS) med teknisk support og eftersalgsservice for at hjælpe kunderne med at opnå effektiv innovation inden for LED, Display og Optoelectronics.
1. PSS -forsyning af høj kvalitet: Mønstrede safirsubstrater i forskellige størrelser (2 ", 4", 6 ") for at imødekomme behovene for LED, display og optoelektroniske enheder.
2. Tilpasset design: Tilpas overflademikro-nano-strukturen (såsom kegle, pyramide eller hexagonal array) i henhold til kundens behov for at optimere lysekstraktionseffektiviteten.
3. Teknisk support: Giv PSS -applikationsdesign, procesoptimering og teknisk konsultation for at hjælpe kunderne med at forbedre produktydelsen.
4. Epitaksial vækststøtte: PSS matchet med gan-epitaksialmateriale tilvejebringes for at sikre vækst af epitaksial lag af høj kvalitet.
5. Test og certificering: Giv PSS -kvalitetskontrolrapport for at sikre, at produkter opfylder branchestandarder.
Detaljeret diagram


