Mønstret safirsubstrat PSS 2 tommer 4 tommer 6 tommer ICP tørætsning kan bruges til LED-chips

Kort beskrivelse:

Mønstret safirsubstrat (PSS) er et substrat, hvorpå mikro- og nanostrukturer dannes ved hjælp af litografi og ætsningsteknikker. Det bruges hovedsageligt i LED-produktion (lysemitterende dioder) for at forbedre lysudvindingseffektiviteten gennem overflademønstringsdesign og derved forbedre LED'ens lysstyrke og ydeevne.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produktmærker

Kerneegenskab

1. Materialeegenskaber: Substratmaterialet er en enkeltkrystal safir (Al₂O₃) med høj hårdhed, høj varmebestandighed og kemisk stabilitet.

2. Overfladestruktur: Overfladen dannes ved fotolitografi og ætsning i periodiske mikro-nanostrukturer, såsom kegler, pyramider eller hexagonale arrays.

3. Optisk ydeevne: Gennem overflademønsterdesignet reduceres den samlede lysrefleksion ved grænsefladen, og lysudtrækningseffektiviteten forbedres.

4. Termisk ydeevne: Safirsubstrat har fremragende varmeledningsevne, velegnet til højtydende LED-applikationer.

5. Størrelsesspecifikationer: Almindelige størrelser er 2 tommer (50,8 mm), 4 tommer (100 mm) og 6 tommer (150 mm).

Vigtigste anvendelsesområder

1. LED-fremstilling:
Forbedret lysudvindingseffektivitet: PSS reducerer lystab gennem mønsterdesign, hvilket forbedrer LED-lysstyrken og lyseffektiviteten betydeligt.

Forbedret epitaksial vækstkvalitet: Den mønstrede struktur giver et bedre vækstgrundlag for GaN-epitaksiale lag og forbedrer LED-ydeevnen.

2. Laserdiode (LD):
Højtydende lasere: PSS' høje termiske ledningsevne og stabilitet er velegnede til højtydende laserdioder, hvilket forbedrer varmeafledningsevnen og pålideligheden.

Lav tærskelstrøm: Optimer epitaksial vækst, reducer laserdiodens tærskelstrøm og forbedr effektiviteten.

3. Fotodetektor:
Høj følsomhed: PSS' høje lystransmission og lave defekttæthed forbedrer fotodetektorens følsomhed og responshastighed.

Bred spektral respons: egnet til fotoelektrisk detektion i det ultraviolette til synlige område.

4. Effektelektronik:
Højspændingsmodstand: Sapphires høje isolering og termiske stabilitet er velegnet til højspændingsenheder.

Effektiv varmeafledning: Høj varmeledningsevne forbedrer varmeafledningsevnen for strømforsyninger og forlænger levetiden.

5. RF-enheder:
Højfrekvensydelse: PSS' lave dielektriske tab og høje termiske stabilitet er velegnede til højfrekvente RF-enheder.

Lav støj: Høj fladhed og lav defektdensitet reducerer enhedsstøj og forbedrer signalkvaliteten.

6. Biosensorer:
Detektion med høj følsomhed: PSS' høje lystransmission og kemiske stabilitet er egnet til biosensorer med høj følsomhed.

Biokompatibilitet: Safirs biokompatibilitet gør den velegnet til medicinske og biodetektionsapplikationer.
Mønstret safirsubstrat (PSS) med GaN epitaksialt materiale:

Mønstret safirsubstrat (PSS) er et ideelt substrat til GaN (galliumnitrid) epitaksial vækst. Safirs gitterkonstant er tæt på GaN, hvilket kan reducere gitterfejl og defekter i epitaksial vækst. PSS-overfladens mikronanostruktur forbedrer ikke kun lysudvindingseffektiviteten, men forbedrer også krystalkvaliteten af GaN's epitaksiallag, hvorved LED'ens ydeevne og pålidelighed forbedres.

Tekniske parametre

Punkt	Mønstret safirsubstrat (2~6 tommer)
Diameter	50,8 ± 0,1 mm	100,0 ± 0,2 mm	150,0 ± 0,3 mm
Tykkelse	430 ± 25 μm	650 ± 25 μm	1000 ± 25 μm
Overfladeorientering	C-plan (0001) skæv vinkel i forhold til M-aksen (10-10) 0,2 ± 0,1°
	C-plan (0001) skæv vinkel i forhold til A-aksen (11-20) 0 ± 0,1°
Primær flad orientering	A-plan (11-20) ± 1,0°
Primær flad længde	16,0 ± 1,0 mm	30,0 ± 1,0 mm	47,5 ± 2,0 mm
R-plan	Klokken 9
Forsideoverfladefinish	Mønstret
Bagoverfladefinish	SSP: Finslebet, Ra=0,8-1,2um; DSP: Epipoleret, Ra<0,3nm
Lasermærkning	Bagsiden
TTV	≤8μm	≤10 μm	≤20 μm
SLØJFE	≤10 μm	≤15 μm	≤25 μm
VARP	≤12 μm	≤20 μm	≤30 μm
Kantudelukkelse	≤2 mm
Mønsterspecifikation	Formstruktur	Kuppel, kegle, pyramide
	Mønsterhøjde	1,6~1,8 μm
	Mønsterdiameter	2,75~2,85 μm
	Mønsterplads	0,1~0,3 μm

XKH specialiserer sig i at levere skræddersyede, mønstrede safirsubstrater (PSS) af høj kvalitet med teknisk support og eftersalgsservice for at hjælpe kunder med at opnå effektiv innovation inden for LED, display og optoelektronik.

1. PSS-forsyning af høj kvalitet: Mønstrede safirsubstrater i forskellige størrelser (2", 4", 6") for at imødekomme behovene hos LED-, display- og optoelektroniske enheder.

2. Tilpasset design: Tilpas overfladens mikro-nanostruktur (såsom kegle, pyramide eller sekskantet array) efter kundens behov for at optimere lysudvindingseffektiviteten.

3. Teknisk support: Yde PSS-applikationsdesign, procesoptimering og teknisk rådgivning for at hjælpe kunder med at forbedre produktets ydeevne.

4. Epitaksial vækststøtte: PSS matchet med GaN epitaksialt materiale leveres for at sikre epitaksialt lagvækst af høj kvalitet.

5. Test og certificering: Udarbejd en PSS-kvalitetsinspektionsrapport for at sikre, at produkterne opfylder branchestandarder.