Siliciumdioxid wafer SiO2 wafer tyk Poleret, Prime og Test Grade

Kort beskrivelse:

Termisk oxidation er resultatet af at udsætte en siliciumwafer for en kombination af oxidationsmidler og varme for at lave et lag af siliciumdioxid (SiO2). Vores virksomhed kan tilpasse siliciumdioxid-oxidflager med forskellige parametre til kunderne, med fremragende kvalitet;oxidlagets tykkelse, kompakthed, ensartethed og resistivitetskrystalorientering er alle implementeret i overensstemmelse med nationale standarder.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produkt Tags

Introduktion af wafer box

Produkt	Thermal Oxide (Si+SiO2) wafere
Produktionsmetode	LPCVD
Overflade polering	SSP/DSP
Diameter	2 tommer / 3 tommer / 4 tommer / 5 tommer / 6 tommer
Type	P type / N type
Oxidationslag tykt	100nm ~1000nm
Orientering	<100> <111>
Elektrisk resistivitet	0,001-25000(Ω•cm)
Ansøgning	Anvendes til synkrotronstrålingsprøvebærer, PVD/CVD-belægning som substrat, magnetronforstøvningsvækstprøve, XRD, SEM,Atomkraft, infrarød spektroskopi, fluorescensspektroskopi og andre analysetestsubstrater, molekylærstråleepitaksiale vækstsubstrater, røntgenanalyse af krystallinske halvledere

Siliciumoxidwafere er siliciumdioxidfilm dyrket på overfladen af siliciumwafers ved hjælp af oxygen eller vanddamp ved høje temperaturer (800°C~1150°C) ved hjælp af en termisk oxidationsproces med ovnrørsudstyr med atmosfærisk tryk.Tykkelsen af processen spænder fra 50 nanometer til 2 mikron, procestemperaturen er op til 1100 grader Celsius, vækstmetoden er opdelt i "våd oxygen" og "tør oxygen" to slags.Termisk oxid er et "vokset" oxidlag, som har højere ensartethed, bedre tætning og højere dielektrisk styrke end CVD-aflejrede oxidlag, hvilket resulterer i overlegen kvalitet.

Tør Oxygen Oxidation

Silicium reagerer med ilt, og oxidlaget bevæger sig konstant mod substratlaget.Tøroxidation skal udføres ved temperaturer fra 850 til 1200°C, med lavere væksthastigheder, og kan bruges til MOS-isoleret portvækst.Tøroxidation foretrækkes frem for vådoxidation, når der kræves et ultratyndt siliciumoxidlag af høj kvalitet.Tøroxidationskapacitet: 15nm ~ 300nm.

2. Våd oxidation

Denne metode bruger vanddamp til at danne et oxidlag ved at komme ind i ovnrøret under høje temperaturforhold.Fortætningen af våd oxygenoxidation er lidt værre end tør oxygenoxidation, men sammenlignet med tør oxygenoxidation er dens fordel, at den har en højere væksthastighed, velegnet til mere end 500 nm filmvækst.Vådoxidationskapacitet: 500nm~2µm.

AEMD's atmosfæriske trykoxidationsovnrør er et tjekkisk horisontalt ovnrør, som er kendetegnet ved høj processtabilitet, god filmensartethed og overlegen partikelkontrol.Siliciumoxidovnsrøret kan behandle op til 50 wafers pr. rør, med fremragende intra- og inter-wafers ensartethed.