SiO2 tynd film termisk oxid silicium wafer 4 tommer 6 tommer 8 tommer 12 tommer

Hovedprocessen til fremstilling af oxiderede siliciumwafere omfatter normalt følgende trin: monokrystallinsk siliciumvækst, skæring i wafers, polering, rengøring og oxidation.

Monokrystallinsk siliciumvækst: For det første dyrkes monokrystallinsk silicium ved høje temperaturer ved metoder som Czochralski-metoden eller Float-zone-metoden.Denne metode muliggør fremstilling af siliciumenkeltkrystaller med høj renhed og gitterintegritet.

Terninger: Det dyrkede monokrystallinske silicium er normalt i en cylindrisk form og skal skæres i tynde wafere for at blive brugt som et wafersubstrat.Skæring udføres normalt med en diamantskærer.

Polering: Overfladen på den skårne wafer kan være ujævn og kræver kemisk-mekanisk polering for at opnå en glat overflade.

Rengøring: Den polerede wafer renses for at fjerne urenheder og støv.

Oxidering: Til sidst sættes siliciumskiverne i en højtemperaturovn til oxidationsbehandling for at danne et beskyttende lag af siliciumdioxid for at forbedre dets elektriske egenskaber og mekaniske styrke, samt at tjene som et isolerende lag i integrerede kredsløb.

De vigtigste anvendelser af oxiderede siliciumskiver omfatter fremstilling af integrerede kredsløb, fremstilling af solceller og fremstilling af andre elektroniske enheder.Siliciumoxidskiver er meget udbredt inden for halvledermaterialer på grund af deres fremragende mekaniske egenskaber, dimensionelle og kemiske stabilitet, evne til at fungere ved høje temperaturer og høje tryk, samt gode isolerende og optiske egenskaber.

Dens fordele omfatter en komplet krystalstruktur, ren kemisk sammensætning, præcise dimensioner, gode mekaniske egenskaber osv. Disse egenskaber gør siliciumoxidskiver særligt velegnede til fremstilling af højtydende integrerede kredsløb og andre mikroelektroniske enheder.