4 tommer SiC Wafers 6H semi-isolerende SiC substrater prime, forskning og dummy kvalitet

Kort beskrivelse:

Halvisoleret siliciumcarbidsubstrat er dannet ved skæring, slibning, polering, rengøring og anden forarbejdningsteknologi efter væksten af halvisoleret siliciumcarbidkrystal. Et lag eller flerlags krystallag dyrkes på substratet, der opfylder kvalitetskravene som epitaksi, og derefter fremstilles mikrobølge-RF-enheden ved at kombinere kredsløbsdesignet og emballagen. Tilgængelig som 2 tommer 3 tommer 4 tommer 6 tommer 8 tommer halvisolerede siliciumcarbid-enkeltkrystalsubstrater til industri, forskning og testkvalitet.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produkt Tags

Produktspecifikation

Grad			Zero MPD Production Grade (Z Grade)			Standard produktionskvalitet (P-klasse)		Dummy Grade (D Grade)
Diameter			99,5 mm~100,0 mm
	4H-SI		500 μm±20 μm			500 μm±25 μm
Wafer orientering			Off-akse: 4,0° mod< 1120 > ±0,5° for 4H-N, On-akse: <0001>±0,5° for 4H-SI
	4H-SI		≤1 cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Primær flad orientering		{10-10} ±5,0°
Primær flad længde		32,5 mm±2,0 mm
Sekundær flad længde		18,0 mm±2,0 mm
Sekundær flad orientering		Silicium med forsiden opad: 90° CW. fra Prime flat ±5,0°
Kantudelukkelse		3 mm
LTV/TTV/Bow/Warp		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Ruhed			C ansigt				Polere		Ra≤1 nm
			Si ansigt	CMP	Ra≤0,2 nm					Ra≤0,5 nm
Kantrevner af lys med høj intensitet		Ingen						Kumulativ længde ≤ 10 mm, enkelt længde≤2 mm
Hex plader af høj intensitet lys		Akkumuleret areal ≤0,05 %						Akkumuleret areal ≤0,1 %
Polytype områder med høj intensitet lys		Ingen						Akkumuleret areal≤3 %
Visuelle kulstofindeslutninger		Akkumuleret areal ≤0,05 %						Akkumuleret areal ≤3 %
Siliciumoverfladeridser af lys med høj intensitet		Ingen						Kumulativ længde≤1＊waferdiameter
Edge Chips High By Intensity Light		Ingen tilladt ≥0,2 mm bredde og dybde						5 tilladte, ≤1 mm hver
Siliciumoverfladeforurening med høj intensitet		Ingen
Emballage		Multi-wafer-kassette eller enkelt wafer-beholder